[实用新型]一种高效双头固晶装置有效
申请号: | 201922259378.4 | 申请日: | 2019-12-16 |
公开(公告)号: | CN211125593U | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 冯霞霞 | 申请(专利权)人: | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人: | 袁兴隆 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高效 双头固晶 装置 | ||
1.一种高效双头固晶装置,包括
扩晶盘(1),用于放置待封装的晶元蓝膜;
工作台(2),用于放置石墨盘,所述石墨盘中放置有待封装的料片;
其特征在于:所述高效双头固晶装置还包括甩臂、输送轨(3)、收料机构和甩臂驱动机构,所述输送轨(3)设置在固定的底板(4)上,所述工作台(2)通过工作台调节机构滑动安装在所述输送轨(3)上,所述甩臂驱动机构可以驱动所述甩臂在扩晶盘(1)和工作台(2)之间移动,并将所述晶元蓝膜上的晶元取出并安装到所述石墨盘中的料片上,所述收料机构设置在所述底板(4)上,用于将封装完毕的石墨盘从工作台(2)上取出。
2.如权利要求1所述的一种高效双头固晶装置,其特征在于:所述甩臂的数量为二个,二个所述甩臂分别为第一甩臂(5)和第二甩臂(6),所述甩臂驱动机构包括转台(7)和第一驱动电机(8),所述第一甩臂(5)和所述第二甩臂(6)对称设置在所述转台(7)的左右两侧,所述第一驱动电机(8)设置在固定的机架(9)上,所述第一驱动电机(8)的输出轴与所述转台(7)固定连接并可驱动所述转台(7)转动以在旋转方向调节所述第一甩臂(5)和所述第二甩臂(6)的位置,所述甩臂驱动机构还包括第一竖直调节单元和第二竖直调节单元,所述第一甩臂(5)通过所述第一竖直调节单元活动设置在所述转台(7)上,所述第一竖直调节单元可驱动所述第一甩臂(5)沿竖直方向移动,所述第二甩臂(6)通过所述第二竖直调节单元活动设置在所述转台(7)上,所述第二竖直调节单元可驱动所述第二甩臂(6)沿竖直方向移动。
3.如权利要求2所述的一种高效双头固晶装置,其特征在于:所述第一竖直调节单元包括支撑轴(10)、第一连接杆(11)、第一导轨(12)和第一滑块(13),所述第一导轨(12)沿竖直方向设置在所述转台(7)上,所述第一滑块(13)滑动设置在所述第一导轨(12)上,并与所述第一甩臂(5)固定连接,所述支撑轴(10)沿竖直方向活动安装在所述转台(7)上,所述支撑轴(10)的底部与所述第一连接杆(11)的一端转动连接,所述第一连接杆(11)的另一端与所述第一滑块(13)固定连接,所述支撑轴(10)上下移动能够带动所述第一甩臂(5)上下移动;所述第一竖直调节单元还包括第二连接杆(14)、第一曲柄(15)、第一偏心轮(16)和第二驱动电机(17),所述第二驱动电机(17)固定设置在所述机架(9)上,所述第二驱动电机(17)的输出轴与所述第一偏心轮(16)固定连接,所述第一曲柄(15)的一端与所述第一偏心轮(16)相铰接,所述第一曲柄(15)的另一端与所述第二连接杆(14)的一端相铰接,所述第二连接杆(14)的另一端与所述支撑轴(10)的顶部转动连接,所述第一偏心轮(16)在所述第二驱动电机(17)的驱动下转动能够带动所述支撑轴(10)上下移动。
4.如权利要求3所述的一种高效双头固晶装置,其特征在于:所述第二竖直调节单元包括连接轴(20)、第三连接杆(21)、第二导轨(22)和第二滑块(23),所述支撑轴(10)中设置有安装孔,所述连接轴(20)由上至下插入所述安装孔中并能沿所述安装孔的轴向上下移动,所述第二导轨(22)沿竖直方向设置在所述转台(7)上,所述第二滑块(23)滑动设置在所述第二导轨(22)上,并与所述第二甩臂(6)固定连接,所述支撑轴(10)的底部与所述第三连接杆(21)的一端转动连接,所述第三连接杆(21)的另一端与所述第二滑块(23)固定连接,所述连接轴(20)上下移动能够带动所述第二甩臂(6)上下移动;所述第二竖直调节机构还包括第四连接杆(24)、第二曲柄(25)、第二偏心轮(26)和第三驱动电机(27),所述第三驱动电机(27)固定设置在所述机架(9)上,所述第三驱动电机(27)的输出轴与所述第二偏心轮(26)固定连接,所述第二曲柄(25)的一端与所述第二偏心轮(26)相铰接,所述第二曲柄(25)的另一端与所述第四连接杆(24)的一端相铰接,所述第四连接杆(24)的另一端与所述连接轴(20)的顶部转动连接,所述第二偏心轮(26)在所述第三驱动电机(27)的驱动下转动能够带动所述连接轴(20)上下移动,进而带动所述第二甩臂(6)上下移动。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造