[实用新型]一种芯片切割用冷却循环机构有效
申请号: | 201922270378.4 | 申请日: | 2019-12-17 |
公开(公告)号: | CN211233551U | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 田光明;王波;王小波 | 申请(专利权)人: | 无锡科瑞泰半导体科技有限公司 |
主分类号: | F25D17/02 | 分类号: | F25D17/02;F28F19/01 |
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地址: | 214000 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 切割 冷却 循环 机构 | ||
1.一种芯片切割用冷却循环机构,包括圆筒(1),其特征在于:所述圆筒(1)的内腔安装有锥斗(2),所述圆筒(1)的侧面安装有贯穿的第一接管(6),所述第一接管(6)与圆筒(1)的内腔相切,所述圆筒(1)的内腔安装有水平的滤布(7),所述圆筒(1)的上端安装有盖板,所述盖板的中部安装有贯穿的第二接管(8),所述第二接管(8)通过管道与散热器(9)连接,所述散热器(9)包括上下两个平行的箱体(91),所述箱体(91)之间连接有若干根圆管(94),所述箱体(91)的边侧焊接有侧板,所述侧板之间固定连接有若干个翅片(93),两个箱体(91)的后端之间连接有背板,所述背板上安装有风机(10),所述背板上设有与风机(10)连通的圆孔。
2.根据权利要求1所述的一种芯片切割用冷却循环机构,其特征在于:所述圆筒(1)的底侧安装有支撑架(3),所述圆筒(1)的侧面安装有第一阀门(5)。
3.根据权利要求1所述的一种芯片切割用冷却循环机构,其特征在于:所述锥斗(2)与圆筒(1)的内腔底部之间形成有沉淀腔(11),所述圆筒(1)的底部安装有第二阀门(4)。
4.根据权利要求1所述的一种芯片切割用冷却循环机构,其特征在于:所述圆管(94)的端部与箱体(91)的内腔连通,所述圆管(94)贯穿翅片(93)并与其固定安装。
5.根据权利要求1所述的一种芯片切割用冷却循环机构,其特征在于:所述箱体(91)的侧面安装有接头管,两个箱体(91)的前端之间固定安装有滤网(92)。
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