[实用新型]烤胶机

权利要求书

1.烤胶机，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)上固定设置有电机(2)和保温壳(3)，所述电机(2)竖直设置，且电机(2)的主轴连接有水平的转盘(4)，所述转盘(4)上设置有多个晶圆定位槽(5)，多个晶圆定位槽(5)绕转盘(4)的中心呈圆周状均匀分布；所述保温壳(3)的内腔由竖直的隔板(12)分隔成为预热腔(6)、加热腔(7)以及预冷腔(8)，所述加热腔(7)内设置有加热组件(9)；所述转盘(4)部分位于保温壳(3)内，部分位于保温壳(3)外，且预热腔(6)、加热腔(7)以及预冷腔(8)中均有一晶圆定位槽(5)。

2.根据权利要求1所述的烤胶机，其特征在于，所述加热组件(9)为加热基板。

3.根据权利要求2所述的烤胶机，其特征在于，所述转盘(4)为隔热转盘，所述隔热转盘上设置有多个通孔(10)，所述通孔(10)的下端孔口设置有导热板(11)，所述导热板(11)与通孔(10)组成晶圆定位槽(5)。

4.根据权利要求1所述的烤胶机，其特征在于，所述隔板(12)为隔热材质。

5.根据权利要求1所述的烤胶机，其特征在于，所述转盘(4)与保温壳(3)的连接缝隙中设置有密封结构(13)。

6.根据权利要求1所述的烤胶机，其特征在于，所述转盘(4)位于保温壳(3)外的部分具有两个晶圆定位槽(5)，所述保温壳(3)的内腔中还由隔板(12)分隔出了多个余热腔(21)。

7.根据权利要求1所述的烤胶机，其特征在于，所述保温壳(3)外设置有一装料工位和一卸料工位，装料工位处设置有装料机构，卸料工位处设置有卸料机构。

8.根据权利要求7所述的烤胶机，其特征在于，每个晶圆定位槽(5)的槽底均设置有装卸通孔(14)，所述装料机构和卸料机构均包括一顶杆(15)、一支撑筒(16)以及一水平的传输臂(17)，所述顶杆(15)竖直设置，且顶杆(15)的下端连接有一升降驱动机构(18)，所述支撑筒(16)位于顶杆(15)的上方，且位于装料工位的顶杆(15)、支撑筒(16)、晶圆定位槽(5)的装卸通孔(14)同轴，位于卸料工位的顶杆(15)、支撑筒(16)、晶圆定位槽(5)的装卸通孔(14)同轴，所述支撑筒(16)的侧壁设置有从支撑筒(16)上端面延伸至下端面的分离缺口(19)，所述分离缺口(19)的宽度大于顶杆(15)的直径，所述支撑筒(16)与传输臂(17)固定连接，传输臂(17)连接有一转动驱动机构(20)。

9.根据权利要求8所述的烤胶机，其特征在于，所述顶杆(15)为空心杆，所述顶杆(15)顶部内设置有晶圆探测器(22)，所述晶圆探测器(22)连接有控制器(23)，所述升降驱动机构(18)和转动驱动机构(20)均与控制器(23)电连接。

10.根据权利要求8所述的烤胶机，其特征在于，所述升降驱动机构(18)为直线电机，所述转动驱动机构(20)包括转动驱动电机和减速器，所述转动驱动电机与减速器相连，所述减速器连接有一竖直的转轴，所述转轴与传输臂(17)固定连接。