[实用新型]烤胶机

说明书

本实用新型公开了一种烤胶机，包括底座，所述底座上固定设置有电机和保温壳，所述电机竖直设置，且电机的主轴连接有水平的转盘，所述转盘上设置有多个晶圆定位槽，多个晶圆定位槽绕转盘的中心呈圆周状均匀分布；所述保温壳的内腔由竖直的隔板分隔成为预热腔、加热腔以及预冷腔，所述加热腔内设置有加热组件；所述转盘部分位于保温壳内，部分位于保温壳外，且预热腔、加热腔以及预冷腔中均有一晶圆定位槽。本烤胶机不需要人工开启加热腔，使用更加方便，电机带动转盘连续转动，可实现连续烤胶，提高生产效率，有利于批量化、规模化生产。

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产设备领域，具体涉及一种烤胶机。

背景技术

晶圆表面涂上胶层后，为了实现胶层的快速干燥，一般会采用烤胶机对晶圆进行烘烤。现有的烤胶机都是封闭式的，即加热面板位于一封闭的加热腔中，使用时，打开加热腔，将晶圆水平放在加热面板上，通过电加热的方式对晶圆进行加热，促使胶层快速干燥固化。这种烤胶机由于加热腔封闭，能够提高热利用率，能耗相对较低，但每次只能够烘烤特定数量的晶圆，且需要人工开启加热腔、放入晶圆、打开加热腔、取出晶圆，效率较低，不利于实现规模化、连续化生产。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够实现连续生产以提高工作效率的烤胶机。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是：烤胶机，包括底座，所述底座上固定设置有电机和保温壳，所述电机竖直设置，且电机的主轴连接有水平的转盘，所述转盘上设置有多个晶圆定位槽，多个晶圆定位槽绕转盘的中心呈圆周状均匀分布；所述保温壳的内腔由竖直的隔板分隔成为预热腔、加热腔以及预冷腔，所述加热腔内设置有加热组件；所述转盘部分位于保温壳内，部分位于保温壳外，且预热腔、加热腔以及预冷腔中均有一晶圆定位槽。

进一步地，所述加热组件为加热基板。

进一步地，所述转盘为隔热转盘，所述隔热转盘上设置有多个通孔，所述通孔的下端孔口设置有导热板，所述导热板与通孔组成晶圆定位槽。

进一步地，所述隔板为隔热材质。

进一步地，所述转盘与保温壳的连接缝隙中设置有密封结构。

进一步地，所述转盘位于保温壳外的部分具有两个晶圆定位槽，所述保温壳的内腔中还由隔板分隔出了多个余热腔。

进一步地，所述保温壳外设置有一装料工位和一卸料工位，装料工位处设置有装料机构，卸料工位处设置有卸料机构。

进一步地，每个晶圆定位槽的槽底均设置有装卸通孔，所述装料机构和卸料机构均包括一顶杆、一支撑筒以及一水平的传输臂，所述顶杆竖直设置，且顶杆的下端连接有一升降驱动机构，所述支撑筒位于顶杆的上方，且位于装料工位的顶杆、支撑筒、晶圆定位槽的装卸通孔同轴，位于卸料工位的顶杆、支撑筒、晶圆定位槽的装卸通孔同轴，所述支撑筒的侧壁设置有从支撑筒上端面延伸至下端面的分离缺口，所述分离缺口的宽度大于顶杆的直径，所述支撑筒与传输臂固定连接，传输臂连接有一转动驱动机构。

进一步地，所述顶杆为空心杆，所述顶杆顶部内设置有晶圆探测器，所述晶圆探测器连接有控制器，所述升降驱动机构和转动驱动机构均与控制器电连接。

进一步地，所述升降驱动机构为直线电机，所述转动驱动机构包括转动驱动电机和减速器，所述转动驱动电机与减速器相连，所述减速器连接有一竖直的转轴，所述转轴与传输臂固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本烤胶机不需要人工开启加热腔，使用更加方便，电机带动转盘连续转动，可实现连续烤胶，提高生产效率，有利于批量化、规模化生产。

附图说明

图1为本实用新型的俯视示意图；

图2为图1中A-A的剖视示意图；