[实用新型]一种用于晶圆加工基座的液体流量温度传感器有效
| 申请号： | 201922277363.0 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN211042315U | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 翁林 | 申请（专利权）人： | 无锡宇邦半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 加工 基座 液体 流量 温度传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于晶圆加工基座的液体流量温度传感器，其特征在于：包括探针(1)、主回路(2)、电压采集模块(3)、通讯转换模块(4)，所述电压采集模块(3)连接主回路(2)与通讯转换模块(4)，所述探针(1)包括温度探针和流量探针且与主回路(2)连接。
2.根据权利要求1所述一种用于晶圆加工基座的液体流量温度传感器，其特征在于：所述探针(1)包括的温度探针为热电偶TC探针，流量探针为频率探针。
3.根据权利要求1所述一种用于晶圆加工基座的液体流量温度传感器，其特征在于：所述主回路(2)内部包括温度信号电路和流量信号电路，输出温度和流量两组模拟信号。
4.根据权利要求1所述一种用于晶圆加工基座的液体流量温度传感器，其特征在于：所述通讯转换模块(4)为485/232转换器。
5.根据权利要求1所述一种用于晶圆加工基座的液体流量温度传感器，其特征在于：所述通讯转换模块(4)转换的通讯信号传输给工厂自动化生产服务器。
6.根据权利要求5所述一种用于晶圆加工基座的液体流量温度传感器，其特征在于：所述工厂自动化生产服务器连接远程PC端或者工厂自动化生产系统。
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