[实用新型]一种用于晶圆加工基座的液体流量温度传感器

说明书

一种用于晶圆加工基座的液体流量温度传感器属于半导体设备领域，所述传感器包括探针、主回路、电压采集模块、通讯转换模块，所述电压采集模块连接主回路与通讯转换模块，所述探针包括温度探针和流量探针且与主回路连接。本实用新型能够对晶圆加工基座的循环液体的流量和温度进行更精确的监控，能够满足更先进工艺的需求，通过接入工厂自动化生产服务器连接远程PC端或者工厂自动化生产系统对监控发生的异常做出及时的干预，从而保证生产质量和效率的提升。

技术领域

本实用新型属于半导体设备领域，涉及一种晶圆加工基座的循环液体流量温度传感器的装置，尤其涉及200mm晶圆Centure刻蚀机上的晶圆加工基座。

背景技术

干法蚀刻工艺是半导体晶圆生产流程中及其重要的一环，在200mm晶圆工厂Centura刻蚀机上，晶圆加工基座有循环液体控温系统来保持晶圆在蚀刻过程中温度的一致性，其原有的流量监控只是简单的以互锁的方式中断当前晶圆加工工艺。流量计这样有二个缺陷：其一，意外的中断当前工艺会造成晶圆的报废。其二，对于生产晶圆线宽0.18μm以下的先进工艺缺乏对具体温度和流量的实时监控，在温度流量发生变化时，无法及时发现工艺误差，从而造成后续晶圆的良率降低甚至批量报废。因此迫切需求一种针对以上缺陷的流量温度传感器提升生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆加工基座的液体流量温度传感器，这样解决了无法对温度流量变化实时监控的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于晶圆加工基座的液体流量温度传感器，其特征在于：包括探针、主回路、电压采集模块、通讯转换模块，所述电压采集模块连接主回路与通讯转换模块，所述探针包括温度探针和流量探针且与主回路连接。

优选的，所述探针包括的温度探针为热电偶TC探针，流量探针为频率探针。

优选的，所述主回路内部包括温度信号电路和流量信号电路，输出温度和流量两组模拟信号。

优选的，所述通讯转换模块为485/232转换器。

优选的，所述通讯转换模块转换的通讯信号传输给工厂自动化生产服务器。

优选的，所述工厂自动化生产服务器连接远程PC端或者工厂自动化生产系统。

原理：通过温度探针采集经过液体的温度，主回路内部温度信号电路通过温度采集电路将温度探针的温度信息收集，通过放大滤波整形补偿电路对收集的信号处理补偿，最后通过D/A数模转换电路进行数模转换后提供给输出端温度模拟电压；通过流量探针采集经过液体的流量，主回路内部流量信号电路通过频率采集转化电路将流量探针的流量信息收集，通过放大滤波整形电路对收集的信号处理，最后通过D/A数模转换电路进行数模转换后提供给输出端流量模拟电压，电压采集模块对主回路输出的模拟电压进行采集，转换成RS485通讯信号输出，通讯转换模块内部的485/232转换器将RS485通讯信号转换成RS232通讯信号输出给工厂自动化生产服务器。

有益效果：

1.相较于之前的流量温度监控，能够防止意外中断，减少材料的报废；

2.本实用新型能够对流量温度实时监控，能够及时发现工艺误差进行处理。

附图说明

图1为一种用于晶圆加工基座的液体流量温度传感器

图2为实用新型结构图

图中符号说明：1：探针；2：主回路；3：电压采集模块4：通讯转换模块。

具体实施方式