[实用新型]一种单多晶硅棒自动粘棒系统有效
申请号: | 201922283332.6 | 申请日: | 2019-12-18 |
公开(公告)号: | CN211306982U | 公开(公告)日: | 2020-08-21 |
发明(设计)人: | 朱佰庆;仇健;李璐;王鹏;李贤东 | 申请(专利权)人: | 青岛高测科技股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04 |
代理公司: | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人: | 郭智 |
地址: | 266114 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 自动 系统 | ||
本实用新型属于硅棒加工技术领域,特别涉及一种单多晶硅棒自动粘棒系统,包括粘胶平台单元和六轴机器人单元。所述粘胶平台单元一侧设有板材输送单元和晶棒输送单元;所述粘胶平台单元远离所述板材输送单元一侧设有晶托输送单元和工装输送单元;所述工装输送单元远离所述晶托输送单元一侧设有半成品加压固化单元;所述板材输送单元一侧设有成品工装分离单元和成品加压固化单元。本实用新型提升硅片工厂自动化水平,解决粘棒自动化,梳理现场人流、物流,提高生产效率,减少人为因素造成的损耗,降低企业生产成本。
技术领域
本实用新型属于硅棒加工技术领域,具体地说涉及一种单多晶硅棒自动粘棒系统。
背景技术
硅片工厂粘棒工艺都是人工完成的,劳动强度和人工成本高,工作效率低,不便于物料统一管理与信息追踪,这也是目前绝大多数企业面临的现状。并且,目前人工粘棒过程中需要在树脂板和晶棒倒角边处贴纸胶带,存在用胶水量浪费,因人而异,粘的成品棒一致性较差的问题。
实用新型内容
针对现有技术的种种不足,发明人在长期实践中研究设计出一种单多晶硅棒自动粘棒系统,提升硅片工厂自动化水平,解决粘棒自动化,梳理现场人流、物流,提高生产效率,减少人为因素造成的损耗,降低企业生产成本。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种单多晶硅棒自动粘棒系统,包括粘胶平台单元和六轴机器人单元。所述粘胶平台单元一侧设有板材输送单元和晶棒输送单元;所述粘胶平台单元远离所述板材输送单元一侧设有晶托输送单元和工装输送单元;所述工装输送单元远离所述晶托输送单元一侧设有半成品加压固化单元;所述板材输送单元一侧设有成品工装分离单元和成品加压固化单元。
进一步地,所述粘胶平台单元包括2个粘胶平台,对称设置在粘棒输送线两侧;所述六轴机器人单元包括2个六轴机器人;所述半成品加压固化单元包括两个半成品加压固化装置,分别设置在所述粘棒输送线两侧。
进一步地,所述成品工装分离单元和所述成品加压固化单元设置在所述粘棒输送线两侧;所述粘棒输送线位于所述成品工装分离单元一端设有成品输送提升机单元。
进一步地,所述板材输送单元包括板材移载装置、板材缓存库和板材输送线;所述板材移载装置设置在所述板材缓存库一侧;所述板材输送线上设有板材输送定位线体和板材清洁单元。
进一步地,所述晶棒输送单元包括晶棒输送线,所述晶棒输送线上设有晶棒清洁单元、晶棒移载单元和晶棒定位单元。
进一步地,所述晶托输送单元包括晶托输送线,所述晶托输送线上设有两个晶托抓取工位;所述晶托抓取工位上设有晶托定位单元和晶托挡停止回单元。
进一步地,所述工装输送单元包括双层倍速链输送单元和工装输送提升单元;所述双层倍速链输送单元上设有第一工装抓取工位和第二工装抓取工位;所述第一工装抓取工位和第二工装抓取工位一侧均设有挡停二次定位单元。
进一步地,所述粘胶平台包括平台机架,所述平台机架上设置有工装升降单元、对中单元和检测单元;所述工装升降单元包括竖直升降组件、水平输送组件和固定板;所述对中单元固设在所述工装升降单元的两侧;所述检测单元位于所述工装升降单元的一端,其包括升降气缸和传感器。
进一步地,所述六轴机器人包括设置在底部的机器人底座总成、设置在机器人底座总成顶部的机器人本体、以及设置在机器人本体上的机器人治具单元。
进一步地,所述粘棒系统还包括打胶机单元,打胶机单元的胶枪安装在所述六轴机器人治具单元上。
进一步地,所述半成品加压固化单元包括半成品机架、套设在半成品机架外的半成品护罩和设置在半成品机架上的半成品输送线;所述半成品输送线上设有半成品加压单元。
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