[实用新型]一种靶材背管有效

专利信息
申请号: 201922286367.5 申请日: 2019-12-18
公开(公告)号: CN211814638U 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 廖龙辉;罗文富 申请(专利权)人: 厦门佰事兴新材料科技有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35
代理公司: 厦门荔信航知专利代理事务所(特殊普通合伙) 35247 代理人: 谭琳娜
地址: 361000 福建省厦门市同*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 靶材背管
【权利要求书】:

1.一种靶材背管,其特征在于,包括背管本体(1)与两个对接头(2),所述对接头(2)的半径大于背管本体(1)的半径,所述对接头(2)上设置有用于与背管本体(1)端部对接的连接部(21),两所述对接头(2)的连接部(21)通过外接固定方式分别固定连接于背管本体(1)的两端上,所述连接部(21)与背管本体(1)的端部之间设置有用于将对接头(2)对位安装于背管本体(1)上的连接结构(3),所述连接结构(3)包括设置于背管本体(1)端部的内衬部(31)以及设置于连接部(21)端部的外套部(32),所述外套部(32)套接于内衬部(31)上。

2.根据权利要求1所述的一种靶材背管,其特征在于,所述内衬部(31)的横截面设置为圆形,所述外套部(32)的横截面设置为圆台形,且所述外套部(32)半径较小的端面套设于内衬部(31)上。

3.根据权利要求2所述的一种靶材背管,其特征在于,所述内衬部(31)与背管本体(1)端部之间通过倾斜边(4)过渡,所述倾斜边(4)的厚度沿中轴方向自背管本体(1)的厚度逐渐减小至内衬部(31)的厚度,且所述外套部(32)套接于内衬部(31)上时,所述倾斜边(4)与外套部(32)外周壁之间形成焊料槽(5)。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种靶材背管,其特征在于,所述连接部(21)通过焊接固定于背管本体(1)上。

5.根据权利要求4所述的一种靶材背管,其特征在于,所述外套部(32)套接于内衬部(31)的位置处沿其周向开设有多个焊接口(321),所述内衬部(31)上开设有多个与焊接口(321)对应的填料槽(311),所述焊接口(321)与填料槽(311)的轴线一致并均与背管本体(1)的轴线垂直,焊接时焊料铺设于焊接口(321)与填料槽(311)内。

6.根据权利要求1所述的一种靶材背管,其特征在于,所述连接部(21)的半径大小与背管本体(1)的半径大小一致,所述对接头(2)与连接部(21) 之间设置有倾斜过渡段(6),所述倾斜过渡段(6)的厚度沿中轴方向从对接头(2)厚度逐渐减小至连接部(21)的厚度。

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