[实用新型]一种靶材背管

说明书

本实用新型公开了一种靶材背管，涉及靶材加工技术领域，其技术方案要点是：包括背管本体与两个对接头，所述对接头的半径大于背管本体的半径，所述对接头上设置有用于与背管本体端部对接的连接部，两所述对接头的连接部通过外接固定方式分别固定连接于背管本体的两端上。通过将对接头利用连接部与背管本体连接，即可成型靶材背管，从而无需对靶材背管中间段进行切割，降低材料浪费程度，具有提高资源利用率的效果。

技术领域

本实用新型涉及靶材加工技术领域，更具体地说，它涉及一种靶材背管。

背景技术

靶材是通过磁控溅射在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。目前，靶材的形状主要有平面靶和旋转靶。对于旋转靶，一般均做成等轴圆柱形，且为了提高靶材利用率，一般旋转靶的两端厚度要大于中间端的厚度。

现有技术中，靶材一般通过背管成型，而为了配合于靶材的形状，背管一般也需要做成两端厚度大于中间端厚度的形状，通常背管的加工采用车床将其中间端切销薄一些，从而成型中间薄两端厚的背管。但是对于较长的背管，此种背管成型方式会浪费较多的材料，导致资源浪费。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的第的在于提供一种靶材背管，降低材料浪费程度，具有提高资源利用率的效果。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种靶材背管，包括背管本体与两个对接头，所述对接头的半径大于背管本体的半径，所述对接头上设置有用于与背管本体端部对接的连接部，两所述对接头的连接部通过外接固定方式分别固定连接于背管本体的两端上。

进一步设置：所述连接部与背管本体的端部之间设置有用于将对接头对位安装于背管本体上的连接结构。

进一步设置：所述连接结构包括设置于背管本体端部的内衬部以及设置于连接部端部的外套部，所述外套部套接于内衬部上。

进一步设置：所述内内衬部的横截面设置为圆形，所述外套部的横截面设置为圆台形，且所述外套部半径较小的端面套设于内衬部上。

进一步设置：内衬部与背管本体端部之间通过倾斜边过渡，所述倾斜边的厚度沿中轴方向自背管本体的厚度逐渐减小至内衬部的厚度，且所述外套部套接于内衬部上时，所述倾斜边与外套部外周壁之间形成焊料槽。

进一步设置：所述连接部通过焊接固定于背管本体上。

进一步设置：所述外套部套接于内衬部的位置处沿其周向开设有多个焊接口，所述内衬部上开设有多个与焊接口对应的填料槽，所述焊接口与填料槽的轴线一致并均与背管本体的轴线垂直，焊接时焊料铺设于焊接口与填料槽内。

进一步设置：所述连接部的半径大小与背管本体的半径大小一致，所述对接头与连接部之间设置有倾斜过渡段，所述倾斜过渡段的厚度沿中轴方向从对接头厚度逐渐减小至连接部的厚度。

通过采用上述技术方案，本实用新型相对现有技术相比，具有以下优点：

1、通过将对接头利用连接部与背管本体连接，即可成型靶材背管，从而无需对靶材背管中间段进行切割，降低材料浪费程度，具有提高资源利用率的效果；

2、通过设置的连接结构，利用外套部与内衬部套接，便于连接部对接于背管本体上，以便于对接头与背管本体对位，以便于进行焊接，且焊接后对接头与背管本体处于同一轴线上，提高连接精度；

3、通过设置的倾斜过渡段，减少对接头与连接部之间的应力集中，以提高靶材背管的结构强度；

4、通过倾斜边过渡内衬部与背管本体，减少二者之间的应力集中，且倾斜边与外套部外壁形成焊料槽，能够便于添加焊料进行焊接，提高焊接后的稳固性，且焊接后能够使得背管本体与连接部处于同一直线上，提高靶材背管的成型精度；