[实用新型]一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备有效
| 申请号： | 201922289168.X | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN211149067U | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 程进;徐乃涛;孙其梁;李宋泽 | 申请（专利权）人： | 无锡微视传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京智客联合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11700 | 代理人： | 杨群 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 微振镜 结构 激光 扫描 生成 设备 | ||
1.一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，其特征在于：包括激光发射器(1)、透镜单元(2)、MEMS微振镜(3)、反射单元(4)、反馈结构(5)和核心控制器(6)，所述激光发射器(1)发出点激光投射到透镜单元(2)上，形成准直点激光或均匀线激光，投射到所述MEMS微振镜上(3)，经MEMS微振镜(3)反射生成线结构光或面结构光，部分线结构光或面结构光被MEMS微振镜(3)上方反射单元(4)反射至所述反馈结构(5)，反馈结构(5)与MEMS微振镜(3)集成在一起，反馈结构(5)传输MEMS微振镜位置信息至核心控制器(6)，核心控制器(6)实时控制激光发射器(1)和MEMS微振镜(3)，投射目标图案。
2.如权利要求1所述的一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，其特征在于：所述的反馈结构(5)包括反馈采集元件(501)、PCB电路板(502)和方形壳体(503)，所述反馈采集元件(501)为光电探测器，所述PCB电路板(502)倾斜放置，所述MEMS微振镜(3)和反馈采集元件(501)贴装于PCB电路板(502)上，所述方形壳体(503)顶部线结构光或面结构光出射处设置有透光窗(504)。
3.如权利要求1所述的一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，其特征在于：所述的反射单元(4)为高反射率膜层，位于方形壳体(503)内侧，所述的反射单元(4)位于MEMS微振镜(3)上方，所述的反射单元(4)位于透光窗(504)边缘处。
4.如权利要求1所述的一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，其特征在于：所述的MEMS微振镜(3)投射出的线结构光或面结构光超出透光窗(504)区域，覆盖反射单元(4)。
5.如权利要求2所述的一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，其特征在于：所述的反馈采集元件(501)位于反射单元(4)反射的线结构光或面结构光在PCB电路板(502)的扫描路径上。
6.如权利要求5所述的一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，其特征在于：所述反馈采集元件(501)共有两个，分别设置在MEMS微振镜(3)两侧。
7.如权利要求2所述的一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，其特征在于：所述方形壳体(503)的内壁设置有用于吸收多余反射光的吸光层。
8.如权利要求4所述的一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，其特征在于：所述透光窗(504)上设置有用以增加激光透光率的增透膜。
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