[实用新型]一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备

说明书

一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，包括激光发射器、透镜单元、MEMS微振镜、反射单元、反馈结构和核心控制器，所述激光发射器发出点激光投射到透镜单元上，形成准直点激光或均匀线激光，投射到所述MEMS微振镜上，生成线结构光或面结构光，部分线结构光或面结构光被反射单元反射至所述反馈结构，反馈结构传输MEMS微振镜位置信息至核心控制器，核心控制器实时控制激光发射器和MEMS微振镜，投射目标图案。本方案通过设置反射单元改变光路，将反馈结构与MEMS微振镜集成在一起，从而缩小设备体积、降低装配难度，具有精度高、装配难度小、一体化程度高及稳定性好的优点。

技术领域

本实用新型涉及微光机电系统设备领域，尤其涉及一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备。

背景技术

MEMS微振镜具有耗能低、响应快、体积小、集成化程度高等优点，已在微光机电系统设备领域广泛应用，但MEMS微振镜本身的干扰能力较差，其幅值与相位会受到电压、环境温度及振动冲击等干扰因素影响，导致MEMS微振镜稳定性降低、其扫描生成的结构光精度低、准确性差，并且对结构对位精度要求高、装配难度大，难以适应本领域的使用需求。

实用新型内容

为了克服上述现有技术的不足，本实用新型的目的是提供一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，通过设置反射单元改变光路，将反馈结构与MEMS微振镜集成在一起，从而缩小设备体积、降低装配难度，实时采集监测并精准控制MEMS微振镜的振动幅值与相位，大大提高了扫描生成结构光的精度及稳定性，结构简单、易维护及一体化程度高。

本实用新型所采用的技术方案是：一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，包括激光发射器、透镜单元、MEMS微振镜、反射单元、反馈结构和核心控制器，所述激光发射器发出点激光投射到透镜单元上，形成准直点激光或均匀线激光，投射到所述MEMS微振镜上，生成线结构光或面结构光，部分线结构光或面结构光被反射单元反射至所述反馈结构，反馈结构传输振镜位置信息至核心控制器，核心控制器实时控制激光发射器和MEMS扫描振镜，投射目标图案。

所述的反馈结构包括反馈采集元件、PCB电路板和方形壳体，所述反馈采集元件为光电探测器，所述PCB电路板倾斜放置，所述MEMS微振镜和反馈采集元件贴装于PCB电路板上，所述方形壳体其顶部线结构光或面结构光出射处设置有透光窗。

所述的反射单元为高反射率膜层，位于方形壳体内侧，所述的反射单元位于MEMS微振镜上方，所述的反射单元位于透光窗边缘处。

所述的MEMS微振镜投射出的线结构光或面结构光超出透光窗区域，覆盖反射单元。

所述的反馈采集元件位于反射单元反射的线结构光或面结构光在PCB电路板的扫描路径上。

所述反馈采集元件共有两个，分别设置在MEMS微振镜两侧。

所述方形壳体的内壁设置有用于吸收多余反射光的吸光层。

所述透光窗上设置有用以增加激光透光率的增透膜。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：本实用新型所述的一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，通过设置反射单元改变光路，将反馈结构中的反馈采集单元与MEMS微振镜集成在同一块PCB电路板上，由PCB电路板统一供电，反馈采集单元无需单独供电电路，也无需额外定位，从而缩小设备体积、降低装配难度，大大提高了扫描生成结构光的精度及稳定性，结构简单、易维护及一体化程度高。

附图说明

图1是本实用新型的构架图；

图2是本实用新型中反馈结构的结构示意图；

图3是本实用新型PCB电路板上封装元件的结构示意图。

具体实施方式