[实用新型]一种晶圆抛光垫及晶圆抛光装置有效
| 申请号： | 201922292239.1 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN211193450U | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 李洪亮;沈思情;张俊宝;陈猛 | 申请（专利权）人： | 上海超硅半导体有限公司;重庆超硅半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/16;B24B37/24;B24B37/34;B24B47/12 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 201617 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 装置 | ||
1.一种晶圆抛光垫，其特征在于，所述晶圆抛光垫包括转动部件、抛光部件与夹持部件；
所述夹持部件将抛光部件固定于转动部件，使转动部件与抛光部件同轴转动；
所述抛光部件包括用于设置夹持部件的凹槽，凹槽的深度大于夹持部件的厚度。
2.根据权利要求1所述的晶圆抛光垫，其特征在于，所述转动部件包括驱动轴，驱动轴的一端用于与外部驱动装置连接，驱动轴的另一端设置有与抛光部件连接的固定板。
3.根据权利要求2所述的晶圆抛光垫，其特征在于，所述固定板为正方形固定板和/或圆形固定板；
所述固定板的形心的法线与驱动轴的轴心重合。
4.根据权利要求3所述的晶圆抛光垫，其特征在于，所述固定板连接驱动轴的另一端设置有凸台，所述抛光部件的凹槽底端设置有与凸台配套的通孔。
5.根据权利要求4所述的晶圆抛光垫，其特征在于，所述凸台的高度与通孔的厚度相同。
6.根据权利要求5所述的晶圆抛光垫，其特征在于，所述抛光部件与固定板设置有配套的使螺栓穿过的固定通孔。
7.根据权利要求6所述的晶圆抛光垫，其特征在于，所述夹持部件开设有与固定通孔配套的通孔和/或螺纹盲孔。
8.根据权利要求1所述的晶圆抛光垫，其特征在于，所述抛光部件为尼龙抛光部件。
9.根据权利要求2所述的晶圆抛光垫，其特征在于，所述驱动轴由与固定板连接的一端向与外部驱动装置连接的一端方向，直径逐级递减。
10.一种包括如权利要求1-9任一项所述的晶圆抛光垫的晶圆抛光装置。
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