[实用新型]一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具

权利要求书

1.一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具，其特征在于，包括上盖(1)、晶圆本体(6)、下载板(7)，所述下载板(7)上开设有排气切口(11)，且所述下载板(7)两侧对称开设有气囊安装槽(9)，所述气囊安装槽(9)内圈处设置有支撑台(10)，且所述气囊安装槽(9)外圈内壁等弧度设置有若干固定齿(8)，所述气囊安装槽(9)内壁安装有气囊(5)，所述气囊(5)与下载板(7)之间设置有晶圆本体(6)，所述晶圆本体(6)安装于支撑台(10)上；

所述上盖(1)与气囊(5)之间设置有锁紧弹力固定组件(2)，所述锁紧弹力固定组件(2)包括导电片(3)、固定扭簧上环(15)、固定扭簧下环(16)、心轴(21)，所述固定扭簧上环(15)、固定扭簧下环(16)内圈均等弧度安装有若干用于安装心轴(21)的心轴固定槽(19)，所述心轴(21)外周面安装有扭簧(20)，所述扭簧(20)上安装有爪部(28)，所述锁紧弹力固定组件(2)与气囊(5)之间设置有顶升环(4)，所述气囊(5)上连通有导气管(13)。

2.根据权利要求1所述的一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具,其特征在于，所述上盖(1)外圈安装有密封橡胶(22)，所述密封橡胶(22)外圈与下载板(7)相接触，所述密封橡胶(22)上安装有金属主体(23)，所述金属主体(23)与锁紧接触面(25)相连接。

3.根据权利要求1所述的一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具,其特征在于，所述固定扭簧上环(15)与固定扭簧下环(16)上对称开设有第二螺纹孔(18)，所述导电片(3)通过第二螺纹孔(18)、螺栓固定于固定扭簧上环(15)与固定扭簧下环(16)之间。

4.根据权利要求1所述的一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具,其特征在于，所述上盖(1)内圈开设有用于固定晶圆本体(6)的定位斜面(27)。

5.根据权利要求1所述的一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具,其特征在于，所述固定扭簧上环(15)、固定扭簧下环(16)上对称开设有若干第一螺纹孔(17)，所述固定扭簧上环(15)、固定扭簧下环(16)通过第一螺纹孔(17)、螺栓相互固定。

6.根据权利要求1所述的一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具,其特征在于，所述固定扭簧上环(15)、固定扭簧下环(16)外圈均等弧度安装有若干配合卡齿(26)，所述配合卡齿(26)与固定齿(8)为配合构件。

7.根据权利要求1所述的一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具,其特征在于，所述顶升环(4)一侧表面开设有接触曲面(14)，所述接触曲面(14)与扭簧(20)相接触，所述上盖(1)外圈还安装有锁紧接触面(25)，所述锁紧接触面(25)与扭簧(20)相接触。