[实用新型]一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具

说明书

本实用新型公开一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具，包括上盖、晶圆本体、下载板，下载板上开设有排气切口，且下载板两侧对称开设有气囊安装槽，气囊安装槽内圈处设置有支撑台。本实用新型电镀用双面挂具装载时，由气囊压力推动扭簧夹具，实现晶圆快速与挂具完成对位安装，由扭簧回弹产生锁紧力，不需要借助外力做特别对位动作，减少刮擦伤害，晶圆挂具安装卸载时由气动驱动弹簧快速安装卸载，扭簧回弹产生锁紧力，安装卸载晶圆只有直线运动而非旋转式运动，可以减少摩擦，减少晶圆刮伤、减少静电产生，解决现有技术中晶圆电镀时在挂具上装卸时容易造成晶圆的损坏，从而导致产品的不良率提高技术问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具。

背景技术

随着半导体产业的发展，半导体芯片加工已接近摩尔定律的极限；其中晶圆级电镀、扇出封装等要求很高产出效率，合理有效的电镀液利用、电镀均匀性等提出了很高的要求。这些都对电镀产品良率以及电镀效率提出了新的挑战，对电镀的挂具提出了很高的要求；目前的电镀设备大多为单面挂具，生产效率低，装载困难，即使有出现双面装载挂具，但均为旋转式装片整套装置机构复杂，同时易产生摩擦静电破坏晶圆电镀产出良率等。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具，解决以下技术问题：(1)电镀用双面挂具装载时，由气囊压力推动扭簧夹具，实现晶圆快速与挂具完成对位安装，由扭簧回弹产生锁紧力，不需要借助外力做特别对位动作，减少刮擦伤害，晶圆挂具安装卸载时由气动驱动弹簧快速安装卸载，扭簧回弹产生锁紧力，安装卸载晶圆只有直线运动而非旋转式运动，可以减少摩擦，减少晶圆刮伤、减少静电产生，解决现有技术中晶圆电镀时在挂具上装卸时容易造成晶圆的损坏，从而导致产品的不良率提高技术问题；(2)下载板提供双面的装载功能，作业前能够被安装两片晶圆本体于此电镀夹具上，电镀用双面挂具可以满足两片晶圆同时电镀，可以将电镀过程效率提高一倍，解决现有技术中晶圆电镀挂具多为单面电镀装置，生产效率低，电镀液利用率低的技术问题。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具，包括上盖、晶圆本体、下载板，所述下载板上开设有排气切口，且所述下载板两侧对称开设有气囊安装槽，所述气囊安装槽内圈处设置有支撑台，且所述气囊安装槽外圈内壁等弧度设置有若干固定齿，所述气囊安装槽内壁安装有气囊，所述气囊与下载板之间设置有晶圆本体，所述晶圆本体安装于支撑台上；

所述上盖与气囊之间设置有锁紧弹力固定组件，所述锁紧弹力固定组件包括导电片、固定扭簧上环、固定扭簧下环、心轴，所述固定扭簧上环、固定扭簧下环内圈均等弧度安装有若干用于安装心轴的心轴固定槽，所述固定扭簧上环、固定扭簧下环上对称开设有若干第一螺纹孔，所述固定扭簧上环、固定扭簧下环通过第一螺纹孔、螺栓相互固定，所述心轴外周面安装有扭簧，所述扭簧上安装有爪部，所述锁紧弹力固定组件与气囊之间设置有顶升环，所述气囊上连通有导气管，所述顶升环一侧表面开设有接触曲面，所述接触曲面与扭簧相接触，所述上盖外圈还安装有锁紧接触面，所述锁紧接触面与扭簧相接触，所述固定扭簧上环、固定扭簧下环外圈均等弧度安装有若干配合卡齿，所述配合卡齿与固定齿为配合构件。

进一步的，所述上盖外圈安装有密封橡胶，所述密封橡胶外圈与下载板相接触，所述密封橡胶上安装有金属主体，所述金属主体与锁紧接触面相连接。

进一步的，所述固定扭簧上环、固定扭簧下环还对称开设有第二螺纹孔，所述导电片通过第二螺纹孔、螺栓固定于固定扭簧上环、固定扭簧下环之间。

进一步的，所述上盖内圈开设有用于固定晶圆本体的定位斜面。

本实用新型的有益效果：