[实用新型]一种紫外光刻曝光机基板清洁装置

说明书

本实用新型提供了一种紫外光刻曝光机基板清洁装置，属于紫外曝光机技术领域。调节机构固定在支架的顶面，转动机构包括伺服电机、第二固定板、第二螺纹杆和第三螺纹杆，伺服电机安装在调节机构的顶面，第二固定板固定在伺服电机的输出轴的端部，第二固定板的顶面对称开设有两个第二滑槽，第二螺纹杆和第三螺纹杆分别转动连接在第二滑槽的内部，第二螺纹杆和第三螺纹杆固定连接，第二螺纹杆和第三螺纹杆的外表面分别螺接有夹紧块，第二固定板的内部开设有第二空腔，第二空腔的底部开设有通孔，第二固定板的底部安装有毛刷，第二空腔的顶面连通有连接管。本实用新型通过转动方式对紫外光刻曝光机基板进行清洗，提高了清洗的效率。

技术领域

本实用新型涉及紫外曝光机领域，具体而言，涉及一种紫外光刻曝光机基板清洁装置。

背景技术

紫外曝光机，也称光刻机、掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，是印刷线路板(PCB)制作工艺中的重要设备。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。

目前，现有的紫外光刻曝光机基板清洁装置，多为人工进行清洁，清洁效率低。

实用新型内容

为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种紫外光刻曝光机基板清洁装置，旨在改善紫外光刻曝光机基板清洁装置，清洁效率低的问题。

本实用新型是这样实现的：

本实用新型提供一种紫外光刻曝光机基板清洁装置，包括支架、调节机构、转动机构、升降机构和清洁机构。

调节机构固定在支架的顶面，转动机构包括伺服电机、第二固定板、第二螺纹杆和第三螺纹杆，伺服电机安装在调节机构的顶面，第二固定板固定在伺服电机的输出轴的端部，第二固定板的顶面对称开设有两个第二滑槽，第二螺纹杆和第三螺纹杆分别转动连接在第二滑槽的内部，第二螺纹杆和第三螺纹杆固定连接，第二螺纹杆和第三螺纹杆的外表面分别螺接有夹紧块，升降机构固定在支架的一侧，清洁机构包括横板、弹性件、第三固定板和毛刷，横板固定在升降机构的顶面，横板的内部对称开设有第一空腔，弹性件设置在第一空腔的内部，第三固定板固定在弹性件的底部，第三固定板的内部开设有第二空腔，第二空腔的底部开设有通孔，第三固定板的底部安装有毛刷，第二空腔的顶面连通有连接管。

在本实用新型的一种实施例中，所述支架包括底板和支撑柱，所述支撑柱固定在所述底板的顶面。

在本实用新型的一种实施例中，所述调节机构包括第一固定板、第一螺纹杆和滑块，所述第一固定板的顶面开设有第一滑槽，所述第一螺纹杆转动连接在所述第一滑槽的内部，所述滑块螺接在所述第一螺纹杆的外表面。

在本实用新型的一种实施例中，所述滑块为梯形，所述伺服电机固定在所述滑块的顶面，所述第一螺纹杆的端部贯穿所述第一滑槽，所述第一螺纹杆的端部键连接有第一转动件。

在本实用新型的一种实施例中，所述第二螺纹杆贯穿所述第二滑槽，所述第二螺纹杆的端部键连接有第二转动件。

在本实用新型的一种实施例中，所述升降机构包括连接板和电缸，所述连接板固定在所述支撑柱的外表面，所述电缸安装在所述连接板的一侧，所述横板固定在所述电缸的端部，所述连接板的顶面开设有限位槽。

在本实用新型的一种实施例中，所述连接板的一侧固定有固定板，所述电缸固定在所述固定板的顶面。

在本实用新型的一种实施例中，所述弹性件包括弹簧、活动板和固定柱，所述弹簧固定在所述第一空腔的内部，所述活动板固定在所述弹簧的另一端，所述活动板与所述第一空腔的内表面滑动连接，所述固定柱固定在所述活动板的端部，所述固定柱贯穿所述第一空腔延伸至外部，所述固定柱的端部固定在所述第三固定板的端部。

在本实用新型的一种实施例中，所述横板的一端固定有与所述限位槽相配的定位杆，所述定位杆与所述限位槽滑动连接。