[实用新型]一种实现大幅面多路激光并行刻划的装置

说明书

本实用新型的实施例提供了一种实现大幅面多路激光并行刻划的装置，涉及激光刻线领域。该实现大幅面多路激光并行刻划的装置包括激光发射模块、激光衍射模块和激光聚焦模块，激光发射模块、激光衍射模块和激光聚焦模块依次设置，激光衍射模块用于将激光分成至少两束子光束，激光聚焦模块用于对至少两束子光束聚焦，聚焦后的子光束用于对基板刻线。上述的实现大幅面多路激光并行刻划的装置和激光并行刻线装置具有结构简单和使用方便的特点，能够实现多路激光并行加工，有利于提高激光划刻平行凹槽的效率。

技术领域

本实用新型涉及激光刻线领域，具体而言，涉及一种实现大幅面多路激光并行刻划的装置。

背景技术

在太阳能电池中，薄膜电池具有生产成本低、易于大规模连续化生产、弱光效应好等优点，但存在电池转化效率低等缺点。在薄膜电池中，激光刻线在薄膜电池中起着非常重要的作用，为了增大薄膜电池的转化效率，需要在基板上划刻出多个平行凹槽，现有实现并行刻线的装置结构复杂，不利于调节。

实用新型内容

本实用新型的目的包括，例如，提供了一种实现大幅面多路激光并行刻划的方法和装置，其具有结构简单和使用方便的特点，能够实现多路激光并行加工，有利于提高激光划刻平行凹槽的效率。

本实用新型的实施例可以这样实现：

第一方面，实施例提供一种实现大幅面多路激光并行刻划的装置，用于激光并行刻线装置，所述激光并行刻线装置包括用于发射激光的激光发射模块，所述实现大幅面多路激光并行刻划的装置包括激光衍射模块和激光聚焦模块，所述激光发射模块、所述激光衍射模块和所述激光聚焦模块依次设置，所述激光衍射模块用于将所述激光分成至少两束子光束，所述激光聚焦模块用于对所述至少两束子光束聚焦，聚焦后的所述子光束用于对基板刻线。

在可选的实施方式中，所述激光衍射模块包括衍射光学元件和旋转电机，所述旋转电机与所述衍射光学元件传动连接，用于调节所述衍射光学元件对所述激光的衍射角度，以调节相邻两束所述子光束在所述基板上的间距。

在可选的实施方式中，所述激光衍射模块还包括直线机构，所述直线机构与所述旋转电机传动连接，用于使所述衍射光学元件靠近或远离所述激光聚焦模块。

在可选的实施方式中，所述激光聚焦模块包括聚焦镜和调节结构，所述调节结构与所述聚焦镜传动连接，用于调节所述聚焦镜与所述激光衍射模块的距离。

在可选的实施方式中，所述实现大幅面多路激光并行刻划的装置还包括基座，所述激光衍射模块和所述激光聚焦模块均安装于所述基座上。

在可选的实施方式中，所述基座上设置有至少一个激光衍射安装位置或者至少一个激光聚焦安装位置，所述激光衍射模块安装于所述至少一个激光衍射安装位置中的一者，所述激光聚焦模块安装于所述至少一个激光聚焦安装位置中的一者。

在可选的实施方式中，所述激光聚焦模块包括用于对所述子光束聚焦的远心透镜或激光场镜。

在可选的实施方式中，所述激光并行刻线装置还包括激光反射模块，所述激光反射模块用于发射由所述激光发射模块发出的所述激光，所述激光衍射模块用于衍射所述激光反射模块反射后的所述激光。

在可选的实施方式中，所述激光并行刻线装置还包括激光分光模块，所述激光分光模块用于对所述激光发射模块发出的所述激光分光，所述激光衍射模块用于衍射所述激光分光模块分光后的所述激光。

第二方面，实施例提供一种实现大幅面多路激光并行刻划的方法，包括：

控制激光发射模块发出光线；

调节激光衍射模块，以使所述光线经所述激光衍射模块衍射后的相邻两所述光线之间的间距为预设间距；

控制所述基板相对所述激光衍射模块移动，以使所述光线在所述基板上形成凹槽。