[实用新型]一种掩模版清洗花篮有效
申请号: | 201922306702.3 | 申请日: | 2019-12-16 |
公开(公告)号: | CN211350598U | 公开(公告)日: | 2020-08-25 |
发明(设计)人: | 顾梦星;朱磊;张月圆;陈青 | 申请(专利权)人: | 无锡中微掩模电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214135 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 模版 清洗 花篮 | ||
1.一种掩模版清洗花篮,包括框体、支撑杆(3)、圆柱形螺帽(5),其特征在于,所述框体包括两块对称的固定面板(1)和两块对称的侧板(2),所述每块固定面板(1)上开有台阶通孔(6),用于固定安装四根支撑杆(3);所述支撑杆(3)上有多个卡槽,将相应的掩模版插入所述卡槽内;所述圆柱形螺帽(5)用于把支撑杆(3)锁紧在固定面板(1)上,且可以通过改变圆柱形螺帽(5)在固定面板(1)上不同位置的台阶通孔(6),从而来改变装载不同尺寸的掩模版,实现一种掩模花篮清洗不同尺寸的掩模版。
2.根据权利要求1所述的花篮,其特征在于,所述两块对称固定面板(1)中间都有第一开孔(1-1)和两块对称的侧板(2)中间都有第二开孔(2-1)。
3.根据权利要求1所述的花篮,其特征在于,所述固定面板(1)上有机械手抓取花篮的定位圆柱(4)。
4.根据权利要求1所述的花篮,其特征在于,所述台阶通孔(6)的内孔大于圆柱形螺帽(5)的螺纹直径。
5.根据权利要求1所述的花篮,其特征在于,所述四根支撑杆(3)中上面两根为掩模版侧面支撑,下面两根为掩模版底部支撑。
6.根据权利要求3所述的花篮,其特征在于,所述支撑杆(3)上有8个梯形卡槽,卡槽一(3-1)与卡槽二(3-2)交替排列,且同种卡槽之间间距相同。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡中微掩模电子有限公司,未经无锡中微掩模电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201922306702.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:用于车丝机辅机的旋转辊
- 下一篇:一种工控机的数据接口保护装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造