[实用新型]一种溅射靶材基板加工装置

权利要求书

1.一种溅射靶材基板加工装置，其特征在于：包括设置在厂房地面上的熔铝电阻炉装置、用于搅拌熔铝电阻炉装置内的金属熔液的搅拌装置、设置在厂房房顶上的用于将搅拌好的金属熔液进行吊装作业的吊装装置，其中：

熔铝电阻炉装置包括设置在厂房地面上的工作平台（10）、设置在工作平台（10）上的炉体（12）、位于炉体（12）上的炉盖（11）、设置在炉体（12）外壁上的若干挂环（17）、设置在炉盖（11）上的锁紧杆（18）、套设在锁紧杆（18）上的弧形紧固件（13），炉盖（11）包括通过固定装置分别固定在炉体（12）上的半圆柱形的左滑盖（111）和半圆柱形的右滑盖（112），左滑盖（111）和右滑盖（112）均等拼合形成圆柱体；

搅拌装置包括设置在炉体（12）一侧的工作平台（10）上的升降机构、设置在升降机构上的搅拌机构，升降机构包括设置在工作平台（10）上的升降杆（100）、转动连接在升降杆（100）上的套筒（311）、设置在套筒（311）上的吊板支架（312）；搅拌机构包括设置在吊板支架（312）下端的若干根立杆（321）、穿套设置在所有立杆（321）底端上的托板（322）、通过电机支架（420）设置在托板（322）上的第二电机（410）、与第二电机（410）的输出端连接并朝下设置的搅拌棍（430），搅拌棍（430）用于搅拌炉体（12）内的金属熔液；

吊装装置包括设置在厂房房顶上的天车（20）、设置在天车（20）上的挂钩（21），挂环（17）与挂钩（21）配合。

2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材基板加工装置，其特征在于：固定装置包括设置在炉体（12）上的固定轴（14）、与固定轴（14）转动连接的旋转轴（15）、与旋转轴（15）连接的连接板（16），连接板（16）对应连接左滑盖（111）或右滑盖（112），锁紧杆（18）设置在左滑盖（111）和右滑盖（112）相对于连接板（16）的另一端；

锁紧杆（18）包括分别设置在左滑盖（111）和右滑盖（112）上的L型支杆、设置在L型支杆上的水平杆，弧形紧固件（13）套设在水平杆上。

3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材基板加工装置，其特征在于：升降机构还包括套设在升降杆（100）外周的固定套（210）、设置在固定套（210）上的滑块（220）、与滑块（220）配合的滑槽（230），滑槽（230）设置在炉体（12）外壁上。

4.根据权利要求3所述的一种溅射靶材基板加工装置，其特征在于：立杆（321）之间还设有加强肋。

5.根据权利要求4所述的一种溅射靶材基板加工装置，其特征在于：搅拌机构还包括设置在托板（322）一侧的L型把手（330）、设置在工作平台（10）上并与把手（330）插入配合的插孔（101）。