[实用新型]一种溅射靶材基板加工装置

说明书

本实用新型涉及一种溅射靶材基板加工装置，包括设置在厂房地面上的熔铝电阻炉装置、用于搅拌熔铝电阻炉装置内的金属熔液的搅拌装置、设置在厂房房顶上的用于将搅拌好的金属熔液进行吊装作业的吊装装置。本装置中熔铝电阻炉装置开取方便，搅拌装置实现金属液的自动搅拌，解放操作人员，避免人工操作造成烫伤的后果，因此便于流水线作业，从而有效提高生产效率，降低生产成本。

技术领域

本专利申请属于溅射靶材加工技术领域，更具体地说，是涉及一种溅射靶材基板加工装置。

背景技术

溅射靶材基板在生产过程中，经过熔炼、浇铸成型、锻压、粗磨和精磨等工艺后，方可成型。熔炼用的原材料主要是利用在粗磨和精磨过程中切割下的金属碎屑以便节约成本。而熔炼这些回收金属碎屑是在电阻炉中进行的，同时在熔炼过程中需要对熔融的金属熔液进行不断搅拌，以便使得金属熔液中的气体和杂质上浮，释放金属熔液中的气体和清理杂质。

但是，在现有的溅射靶材基板加工设备中，熔炉设置不合理，在工人打开炉盖时，需抬起把手借助销轴的旋转进而将炉盖开启（类似打开饼铛盖子），由于炉盖一般由合金材料或掺杂非金属的复合材料制成，重量较大费时费力，对工人操作造成一定不便。同时基板加工设备还未配备搅拌装置，需要操作人员手持搅拌棍对金属熔液进行搅拌，由于金属熔液的温度过高，在搅拌过程总容易造成操作人员烫伤。加之吊装作业繁琐，不便于一体流水线作业，从而影响生产效率，增加生产成本。

实用新型内容

本实用新型需要解决的技术问题是提供一种溅射靶材基板加工装置，该装置机械结构简单可靠，设计合理，便于流水线作业，有效提高生产效率，降低生产成本。

为了解决上述问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种溅射靶材基板加工装置，包括设置在厂房地面上的熔铝电阻炉装置、用于搅拌熔铝电阻炉装置内的金属熔液的搅拌装置、设置在厂房房顶上的用于将搅拌好的金属熔液进行吊装作业的吊装装置，其中：

熔铝电阻炉装置包括设置在厂房地面上的工作平台、设置在工作平台上的炉体、位于炉体上的炉盖、设置在炉体外壁上的若干挂环、设置在炉盖上的锁紧杆、套设在锁紧杆上的弧形紧固件，炉盖包括通过固定装置分别固定在炉体上的半圆柱形的左滑盖和半圆柱形的右滑盖，左滑盖和右滑盖均等拼合形成圆柱体；

搅拌装置包括设置在炉体一侧的工作平台上的升降机构、设置在升降机构上的搅拌机构，升降机构包括设置在工作平台上的升降杆、转动连接在升降杆上的套筒、设置在套筒上的吊板支架；搅拌机构包括设置在吊板支架下端的若干根立杆、穿套设置在所有立杆底端上的托板、通过电机支架设置在托板上的第二电机、与第二电机的输出端连接并朝下设置的搅拌棍，搅拌棍用于搅拌炉体内的金属熔液；

吊装装置包括设置在厂房房顶上的天车、设置在天车上的挂钩，挂环与挂钩配合；

本实用新型技术方案的进一步改进在于：固定装置包括设置在炉体上的固定轴、与固定轴转动连接的旋转轴、与旋转轴连接的连接板，连接板对应连接左滑盖或右滑盖，锁紧杆设置在左滑盖和右滑盖相对于连接板的另一端；

锁紧杆包括分别设置在左滑盖和右滑盖上的L型支杆、设置在L型支杆（的竖直部）上的水平杆，弧形紧固件套设在水平杆上。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：升降机构还包括套设在升降杆外周的固定套、设置在固定套上的滑块、与滑块配合的滑槽，滑槽230设置在炉体外壁上。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：立杆之间还设有加强肋。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：搅拌机构还包括设置在托板一侧的L型把手、设置在工作平台上并与把手插入配合的插孔。