[实用新型]一种臭氧气源供应系统

权利要求书

1.一种臭氧气源供应系统，包括有臭氧发生器、尾气处理系统、储存瓶、反应室，其特征在于，氧气通过主管路在V1阀的控制下通入臭氧发生器，臭氧发生器产生的臭氧通过V2阀通入超纯水的储存瓶，所述储存瓶外装有液位感应器，V3阀一端管路接通储存瓶，另一端管路接通主管路，V5阀设置在V2阀与V3阀之间的主管路上，臭氧与高纯水混合后一同通入反应室，所述尾气处理系统通过V6阀与主管路接通，提供对主管路进行高压保护。

2.根据权利要求1所述的一种臭氧气源供应系统，其特征在于，所述储存瓶还连通有水槽，V4阀设置在水槽与储存瓶管路之间。

3.根据权利要求1所述的一种臭氧气源供应系统，其特征在于，所述储存瓶材质采用石英材质。

4.根据权利要求1或2所述的一种臭氧气源供应系统，其特征在于，所述V1阀、V2阀、V3阀、V4阀、V5阀、V6阀与管路连接处设有密封圈，所述密封圈采用全氟橡胶材质。

5.根据权利要求1所述的一种臭氧气源供应系统，其特征在于，所述主管路、及管路采用1/4管径的不锈钢材料。

6.根据权利要求1所述的一种臭氧气源供应系统，其特征在于，所述液位感应器型号采用VP02E。