[实用新型]一种晶硅炉保温装置及晶硅炉

权利要求书

1.一种晶硅炉保温装置，其特征在于，包括：石墨筒、保温层、加固层、保护层；所述保温层包围在所述石墨筒的外侧，包括石墨软毡；所述加固层设置在所述保温层外侧，用于固定所述保温层；所述保护层包围在设置有所述加固层的所述保温层的外侧；所述石墨筒与所述保护层形成沿所述石墨筒轴向两侧开口的夹层空间，所述夹层空间的两侧开口均采用密封层密封。

2.如权利要求1所述的一种晶硅炉保温装置，其特征在于，所述加固层为环绕所述保温层的钼丝。

3.如权利要求1所述的一种晶硅炉保温装置，其特征在于，所述保护层由不锈钢材质制成。

4.如权利要求1所述的一种晶硅炉保温装置，其特征在于，所述密封层为石墨粉。

5.如权利要求1所述的一种晶硅炉保温装置，其特征在于，所述石墨筒的外侧还设有石墨纸，所述石墨纸覆盖所述石墨筒的缝隙。

6.如权利要求1所述的一种晶硅炉保温装置，其特征在于，所述石墨筒可为径向截面为圆形的圆筒或者径向截面为多边形的多边形筒。

7.如权利要求1～6中任意一项所述的一种晶硅炉保温装置，其特征在于，所述保护层沿所述石墨筒轴向两侧突出于所述石墨筒，形成内外高度差，所述保温层沿所述石墨筒轴向两侧开口均为与所述内外高度差配合的阶梯状结构，所述阶梯状结构包括相互垂直的立面和平面。

8.如权利要求7所述的一种晶硅炉保温装置，其特征在于，所述保温层沿所述石墨筒轴向两侧开口中的上端口包括一个立面连接两个平面的所述阶梯状结构。

9.如权利要求7所述的一种晶硅炉保温装置，其特征在于，所述保温层沿所述石墨筒轴向两侧开口中的下端口包括两个立面间隔连接三个平面形成的所述阶梯状结构。

10.一种晶硅炉，其特征在于，所述晶硅炉内设有如权利要求1～9中任意一项所述的一种晶硅炉保温装置。