[实用新型]一种晶硅炉保温装置及晶硅炉

说明书

本实用新型公开了一种晶硅炉保温装置及晶硅炉，所述保温装置包括：石墨筒、保温层、加固层、保护层；所述保温层包围在所述石墨筒的外侧，包括石墨软毡；所述加固层设置在所述保温层外侧，用于固定所述保温层；所述保护层包围在设置有所述加固层的所述保温层的外侧；所述石墨筒与所述保护层形成沿所述石墨筒轴向两侧开口的夹层空间，所述夹层空间的两侧开口均采用密封层密封。本实用新型在保证保温装置的保温性能的同时，提供了一种便于拆装的保温装置，并且密封性较好，防止其中的保温材料氧化。

技术领域

本实用新型涉及晶硅制造及加工技术领域，特别涉及一种晶硅炉保温装置及晶硅炉。

背景技术

在晶硅炉中，热场的保温装置不仅可以保证成晶条件的稳定，还有助于减少晶硅炉功耗。现有的晶硅炉保温装置中，主要包括两种主流结构：一种是固化毡保温装置，固化毡是将碳毡利用粘结剂粘结成型，在煅烧炉中石墨化纯化后得到的产物。另一种是石墨软毡保温装置，石墨软毡是将碳毡在煅烧炉中石墨化纯化后的产物。对于固化毡保温装置，其拆装方便，寿命长，但其保温效果不及石墨软毡，成本较高制备工艺繁琐。对于以石墨软毡为保温材料的保温装置，成本低，保温效果好，但不便于拆装、使用寿命短。除此之外，不论是固化毡还是石墨软毡都具有易氧化的缺陷，一旦保温材料氧化，将直接减损保温装置的保温性能和使用寿命。

实用新型内容

为了解决主流晶硅炉保温装置存在的问题，本实用新型实施例提供了一种晶硅炉保温装置及晶硅炉。所述技术方案如下：

一方面，提供了一种晶硅炉保温装置，包括：

石墨筒、保温层、加固层、保护层；所述保温层包围在所述石墨筒的外侧，包括石墨软毡；所述加固层设置在所述保温层外侧，用于固定所述保温层；所述保护层包围在设置有所述加固层的保温层的外侧；所述石墨筒与所述保护层形成沿所述石墨筒轴向两侧开口的夹层空间，所述夹层空间的两侧开口均采用密封层密封。

进一步地，所述加固层为环绕所述保温层的钼丝。

进一步地，所述保护层由不锈钢材质制成。

进一步地，所述密封层为石墨粉。

进一步地，所述石墨筒的外侧还设有石墨纸，所述石墨纸覆盖所述石墨筒的缝隙。

进一步地，所述石墨筒可为径向截面为圆形的圆筒或者径向截面为多边形的多边形筒。

进一步地，所述保护层的高度大于沿所述石墨筒轴向两侧突出于所述石墨筒，形成内外高度差，所述保温层沿所述石墨筒轴向两侧开口均为与所述内外高度差配合的阶梯状结构，所述阶梯状结构包括相互垂直的立面和平面。

进一步地，所述保温层沿所述石墨筒轴向两侧开口中的上端口包括一个立面连接两个平面的所述阶梯状结构。

进一步地，所述保温层沿所述石墨筒轴向两侧开口中的下端口包括两个立面间隔连接三个平面形成的所述阶梯状结构。

另一方面，提供了一种晶硅炉，所述晶硅炉内设有上述晶硅炉保温装置。

本实用新型提供的技术方案带来的有益效果是：

1、本实用新型采用石墨软毡作为主要的保温材料，并利用加固层固定保温材料，在保证保温性能的同时还使保温材料定型，防止其松散，并便于拆装；

2、本实用新型利用石墨筒外侧的石墨纸、石墨筒上端和下端的密封层以及保温层外侧的不锈钢保护层，全面密封保温层材料，防止其接触空气氧化，有利于提高保温装置的使用寿命；

3、本实用新型在保证保温装置的保温性能的同时，提供了一种便于拆装的保温装置，并且密封性较好，防止其中的保温材料氧化。

附图说明