[实用新型]带有功率校正功能的激光加工系统

权利要求书

1.一种带有功率校正功能的激光加工系统，包括：

发射激光束的激光振荡器和三阶以上的分离装置组，第n阶分离装置组中分离装置的数量A=2n-1，n为正整数；并且后一阶分离装置组中的分离装置两两为一对，这些分离装置对与前一阶分离装置组中的各分离装置一一对应；前一阶分离装置组中的任意一个分离装置和后一阶分离装置组中与之对应的一对分离装置共三个分离装置组成一个分光单元组系，对于每个分光单元组系而言，

前一阶的每个分离装置均可将入射其上的激光束选择性地分离从而沿着一对路径中的至少一条路径行进；而下一阶的一对分离装置中的一个分离装置可将沿前述一对路径中的一条入射的激光束选择性地分离从而沿着新的一对路径中的至少一条路径行进，一对中的另一分离装置则可将沿一对路径中的另一条入射的激光束选择性的分离从而同样沿着新的一对路径中的至少一条路径行进；

还包括，B对扫描器，通过最后一阶分离装置组中的各个分离装置的激光束入射在相应扫描器上以便每一条被偏转到由此被加工的基片的期望位置上；

单个扫描透镜，通过上述B对扫描器的激光束入射在所述扫描透镜上以便被会聚在具有预定直径的光斑上并被照射在基片上；以及

B个扩束器，这B个扩束器设置在所述B对扫描器的上游侧，用于调节每一条激光束的直径，其中B个所述扩束器分别与所述每一条激光束相对应，其中，B对扫描器中的每一对都包括用于控制到X轴方向的入射激光束的X轴振镜扫描器和控制到Y轴方向的入射激光束的Y轴振镜扫描器；上述B即最后一阶分离装置组中的分离装置的数量A；

还包括功率反馈校正装置，其包括顺序设置在每个扩束器和与之对应的一对扫描器之间光路上的电动可调激光衰减器和B/S分光镜，以及对应每个B/S分光镜设置的用于接受B/S分光镜1%反射光线的光电二极管，还包括同时与各光电二极管和电动可调激光衰减器电连接的工控机；工控机用于检测由各电动可调激光衰减器出射的激光束功率值是否一致，并记录最小功率值，再通过电动可调激光衰减器将由其出射的各激光束功率值调节至与最小功率值一致。

2.根据权利要求1所述的带有功率校正功能的激光加工系统，其特征在于所述功率反馈校正装置还包括用于检测照射至基片上的激光束的实际输出功率值的激光功率检测器，和与激光功率检测器电连接的自动功率校准器，而自动功率校准器与所述工控机电连接，用于将激光功率检测器检测获得的激光束的功率模拟值信号转换为数字信号传输给工控机，当工控机判别由激光功率检测器检测到的激光束的实际输出功率值与预设功率值不同时，由工控机控制各电动可调激光衰减器将由其出射的已调节一致的激光束功率值调节至均与预设功率值相同。

3.根据权利要求1所述的带有功率校正功能的激光加工系统，其特征在于对于每个分光单元组系中的三个所述分离装置而言，至少一个是包括射束分离单元、射束穿透单元和转移装置的往复运动单元，所述射束分离单元反射一部分入射激光束并且允许入射激光束的剩余部分穿透，所述射束穿透单元允许全部入射激光束穿透，并且所述转移装置改变射束分离单元或射束穿透单元位置以便激光束入射在射束分离单元和射束穿透单元中的任一个上。

4.根据权利要求3所述的带有功率校正功能的激光加工系统，其特征在于所述射束分离单元是射束分裂器，所述射束分裂器反射入射激光束的50%并允许入射激光束剩余的50%穿透。

5.根据权利要求3所述的带有功率校正功能的激光加工系统，其特征在于所述射束穿透单元是穿透镜，所述穿透镜允许99%以上的入射激光束穿透。

6.根据权利要求3所述的带有功率校正功能的激光加工系统，其特征在于所述转移装置包括支撑支架、驱动源以及动力传输单元，所述支撑支架支撑射束分离单元和射束穿透单元并且所述动力传输单元传输驱动源的驱动动力到支撑支架从而在左右方向上来回移动支撑支架。