[实用新型]带有功率校正功能的激光加工系统

说明书

本实用新型公开了一种带有功率校正功能的激光加工系统，其在原有的激光加工系统中增设了功率反馈校正装置，包括顺序设置在系统末端每个扩束器和与之对应的每对扫描器之间光路上的电动可调激光衰减器和B/S分光镜，以及对应每个B/S分光镜设置的用于接受B/S分光镜1%反射光线的光电二极管，还包括同时与各光电二极管和电动可调激光衰减器电连接的工控机；工控机用于检测由各电动可调激光衰减器出射的激光束功率是否一致，并记录最小功率值；并通过电动可调激光衰减器将由其出射的激光束功率调节至与最小功率一致。本实用新型能够确保激光加工系统加工效果的一致性，提高加工质量。

技术领域

本实用新型涉及一种带有功率校正功能的激光加工系统。

背景技术

激光加工系统通常是指利用激光束传输装置传输从激光振荡器发射的激光束，并且通过将激光束照射到将被最终加工的基片之上来执行例如打孔、打标或焊接任务的系统。

传统激光加工系统往往只包括激光振荡器，射束分裂器，两对扫描器以及扫描透镜。自单个激光振荡器发射的激光束被分成二条激光束，每条激光束具有由射束分裂器决定的比例，并且二条分离的激光束经过彼此不同的路径以被两对扫描器分别偏转到基片上期望的位置，最终分别被单个扫描透镜会聚并照射到基片上。

当采用半导体的电器和电子装置的费用由于半导体的大量生产而最近已经下降时，在单个加工系统中实现的每小时单位（Unit per Hour，UPH）是在制造半导体加工设备的当前领域中的重要因素。然而由于将单条激光束分成两条激光束从而存在对UPH的限制，传统激光加工系统因此对改进作为单个加工系统的传统激光加工系统是有限的。并且传统的激光加工系统还存在其激光束无法完全根据使用者的选择而被分离或使用，灵活性和应对性差。并且当形成激光束传输装置的多个构件中的任何一个构件存在问题时，就将导致整个传统激光加工系统无法工作。

为此，申请人对传统的上述激光加工系统进行了改进，设计了一种升级改进设备，具体见已授权且专利号为ZL200810091169.7的发明专利。其公开的一种激光加工系统（设备）能够将单条激光束分成四条或以上激光束并利用单个扫描透镜在其上会聚这些激光束中的每一条。该专利的设计核心实际是分离装置对于激光束可选择的利用和分离。将自单条激光束分离的多条激光束照射在基片上以便加工并且因此减少每个基片加工的消耗时间，并且可以最大化在单个加工系统中实现UPH。此外四对扫描器和单个扫描透镜组合成彼此对应来构造一个激光加工系统，从而构成一对扫描器和单个扫描透镜彼此对应的传统激光加工系统相比，可以减少单个激光加工系统的制造成本。

此外，利用包括射束分离单元和射束穿透单元的往复运动单元调节激光束的行进路径，即使形成整个激光加工系统的构件中任何构件有问题，激光加工系统任然可以工作。因此改进了生产的稳定性并且减少了替换损坏构件的另外的购买费用。

众所周知，上述激光加工系统在行业内具体应用时，都搭配控制系统，这类控制系统主要采用工控机对激光加工功率进行控制。工控机内部通常都安装有激光加工控制软件，可以设定及控制激光加工系统的各种功率参数，激光动作路径等，为行业内普遍的技术。

然而，已有的上述多光束的激光加工系统，其在长期使用中暴露出如下问题：

这类系统的光路较长，功率一致性会由于光路中光学部件的损耗而变差，从而影响加工效果的一致性，而现行的控制系统无法自行有效的对上述多路激光束的功率进行调整。对此，目前除了更换损耗的部件，没有更好的解决方法。

发明内容

本实用新型目的是：提供一种带有功率校正功能的激光加工系统，其能够将多路出射至被加工基片上的激光束校正至功率一致，并且与预定功率相同，从而确保这类激光加工系统加工效果的一致性，提高加工质量。

本实用新型的技术方案是：一种带有功率校正功能的激光加工系统，包括：