[实用新型]一种用于单晶硅和多晶硅材料切削的成型刀具有效

专利信息
申请号: 201922323767.9 申请日: 2019-12-20
公开(公告)号: CN211440664U 公开(公告)日: 2020-09-08
发明(设计)人: 张广雨;张慧;朱雪明 申请(专利权)人: 北京亦盛精密半导体有限公司
主分类号: B28D5/02 分类号: B28D5/02
代理公司: 北京东方芊悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11591 代理人: 刘太雷
地址: 100176 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 单晶硅 多晶 材料 切削 成型 刀具
【说明书】:

实用新型涉及一种用于单晶硅和多晶硅材料切削的成型刀具,属于机械加工技术领域,刀杆、刀盘和倒角部,所述刀杆设置有第一空腔,所述刀盘为圆环状结构其顶端设置有上凸部,所述上凸部的侧壁与刀杆连接,所述刀盘的下端连接有倒角部,所述倒角部为锥体结构,所述刀盘设置有多个切削槽,所述切削槽的上端与刀盘的顶面之间有间距,所述切削槽下端延伸至倒角部。本实用新型使用时,可以一次成型,生产过程简单,致密度高,制品尺寸精确,表面质量高。

技术领域

本实用新型涉及一种用于单晶硅和多晶硅材料切削的成型刀具,属于机械加工技术领域。

背景技术

零件生产时,对于那些对零件特殊部位有要求的作业,常规作业已经不能满足特殊材料上的使用,比如常规加工作业时,是通过仿型加工,密集刀路一点点剔除多余材料,最后形成近似30°倒角面(面上有多个小台阶)而后用常规倒角刀将小台阶去除,这样一来倒角面的角度要求和表面纹路就得不到保证,此方法运用到单晶硅材料更是不能满足要求,因此用常规加工方法效率低,易产生崩边等问题,对加工产品带来风险。常见技术问题如下:

1、一般常规30°成型刀使用的是金刚石材质,使用金刚石材质的刀具加工单晶硅、多晶硅等硬而脆的材料时,易产生崩边、加工纹路不均匀;

2.在加工过程时,一般常规30°成型刀只能加工30°倒角或30°锥面,对与锥面相接的平面无法加工,致使衔接平面得使用面铣刀或立铣刀将平面去量,这样加工极易出现接刀痕;

3.在加工过程时,一般常规刀加工倒角通过小加工量、循环加工次数多来减少刀具磨损,延长刀具使用寿命,效率低。

实用新型内容

针对上述技术问题,本实用新型提供了一种具有小型清洗设备的精雕机,其技术方案如下所述:

一种用于单晶硅和多晶硅材料切削的成型刀具,包括刀杆、刀盘和倒角部,所述刀杆设置有第一空腔,所述刀盘为圆环状结构其顶端设置有上凸部,所述上凸部的侧壁与刀杆连接,所述刀盘的下端连接有倒角部,所述倒角部为锥体结构,所述刀盘设置有多个切削槽,所述切削槽的上端与刀盘的顶面之间有间距,所述切削槽下端延伸至倒角部。

进一步的,所述刀盘设置有第三空腔,所述倒角部设置有第二空腔,所述第一空腔、第二空腔和第三空腔相互之间同轴设置。

进一步的,所述倒角部的外锥角为20°-150°。

进一步的,所述倒角部的外表面设有金刚石涂层。

本实用新型的有益效果:

解决了现有倒角刀只加工倒角或锥面,对与锥面相接的平面无法加工,加工过程极易出现接刀痕,加工面纹路不均匀的问题,成型刀具在使用时,可以一次成型,生产过程简单,致密度高,制品尺寸精确,表面质量高,可以实现连续质量高,成型刀比常用刀具更加高效与稳定,满足了批量化生产的要求。

附图说明

图1为所述一种用于单晶硅和多晶硅材料切削的成型刀具的示意图;

图2为所述一种用于单晶硅和多晶硅材料切削的成型刀具的剖面图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有说明,术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。

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