[实用新型]晶圆盒

说明书

本实用新型提供一种晶圆盒，包括晶圆盒本体和设置在晶圆盒本体外侧壁上的晶圆片防插偏结构；在晶圆盒本体内侧壁上设置有晶圆片宽槽；晶圆片防插偏结构包括挡板和支撑结构；在挡板上设置有晶圆片卡槽，晶圆片卡槽的槽口与晶圆片宽槽的槽口位置相对应，挡板转动设置在所述支撑结构的一侧；在支撑结构的端部设置有连接结构，支撑结构通过连接结构与所述晶圆盒本体外侧壁连接。利用上述实用新型能够解决现有技术中晶圆插入晶圆盒卡槽时容易出现插斜插偏的问题，不需要人工反复检查、核对，节省人力、操作简单、灵活方便。

技术领域

本实用新型涉及半导体封测技术领域，更为具体地，涉及一种晶圆盒。

背景技术

半导体产业中广泛使用的晶圆盒(Frame cassette)卡槽的高度较大，这就造成了晶圆框架(frame)极大可能性会插偏。晶圆框架(frame)与晶圆盒(frame cassette)配合使用时，晶圆盒与晶圆框架之间允许可以插错位1-5个卡槽，但实际使用时，当插斜插偏时，可能会造成贴在晶圆框架上的产品污染，当部分机器没有插偏检测功能时，上料会产生异常，严重时会造成机器机械臂撞伤，导致机械臂报废等等危害。插错位一个以上的卡槽时，错位比较明显，操作人员比较容易矫正，但是往往容易发生的是插错位一个卡槽的情况。

为了避免上述插错位一个卡槽的情况出现，目前采用的方法是通过人工反复检查、核对，需要消耗大量的人力和精力，也很容易疏忽，产生人为的失误。

实用新型内容

鉴于上述问题，本实用新型的目的是提供一种晶圆盒，采用这种晶圆盒能够解决现有技术中晶圆片插入晶圆盒卡槽时容易出现插斜插偏的问题，不需要人工反复检查、核对，节省人力、操作简单、灵活方便。

本实用新型提供的晶圆盒，包括晶圆盒本体和设置在所述晶圆盒本体外侧壁上的晶圆片防插偏结构；在所述晶圆盒本体内侧壁上设置有晶圆片宽槽；所述晶圆片防插偏结构包括挡板和支撑结构；在所述挡板上设置有晶圆片卡槽，所述晶圆片卡槽的槽口与所述晶圆片宽槽的槽口位置相对应，所述挡板转动设置在所述支撑结构的一侧；在所述支撑结构的端部设置有连接结构，所述支撑结构通过所述连接结构与所述晶圆盒本体外侧壁连接。

此外，优选的结构是，所述晶圆片宽槽包括第一宽槽和第二宽槽；所述第一宽槽和所述第二宽槽分别设置在所述晶圆盒本体内部位置相对的两个侧壁上；且所述第一宽槽的槽口与所述第二宽槽的槽口位置相对应。

此外，优选的结构是，所述晶圆片宽槽的槽口的高度大于所述晶圆片卡槽的槽口高度。

此外，优选的结构是，所述晶圆片宽槽的槽口底部与所述晶圆片卡槽的槽口底部在同一水平线上。

此外，优选的结构是，所述挡板通过第一连接轴旋转设置在所述支撑结构的一侧；和/或，所述连接结构通过第二连接轴旋转连接在所述晶圆盒本体外侧壁上。

此外，优选的结构是，所述第一连接轴为阻尼转轴；所述第二连接轴为阻尼转轴。

此外，优选的结构是，在所述晶圆盒本体的外侧壁上设置有晶圆片防插偏结构放置凹槽。

此外，优选的结构是，所述支撑结构包括竖直设置的支撑杆；所述连接结构包括第一连接横杆和第二连接横杆；所述第一连接横杆的一端和所述第二连接横杆的一端分别垂直设置在所述支撑杆的两端；所述第一连接横杆的另一端和所述第二连接横杆的另一端均与所述晶圆盒本体外侧壁连接。

此外，优选的结构是，在所述晶圆盒本体的外侧壁上旋转设置有落锁挡杆，所述落锁挡杆的位置与所述晶圆片防插偏结构的位置相对；所述落锁挡杆包括竖直设置的挡杆本体和分别垂直设置在所述挡杆本体两端的第三连接横杆和第四连接横杆；所述第三连接横杆和所述第四连接横杆均与所述晶圆盒本体的外侧壁旋转连接。

此外，优选的结构是，在所述晶圆盒本体外部顶端设置有手柄。