[实用新型]一种新型晶体生长设备

权利要求书

1.一种新型晶体生长设备，其特征在于，包括：由下往上依次设置的籽晶部件(100)、籽晶原点部件(90)、上炉体(80)、隔离阀(70)、下炉体(60)和下腔体结构(50)，籽晶部件(100)和籽晶原点部件(90)皆设于上炉体(80)的上部，隔离阀(70)设于下炉体(60)的上部，下炉体(60)设于下腔体结构(50)上，下腔体结构(50)包括：工作台(10)，其四个边角处皆设有垂直于地面的支撑脚(11)；腔体结构(20)，可拆卸的设于工作台(10)上且腔体结构(20)的容纳腔设于工作台(10)的下方，所述容纳腔的上部开口且开口面与工作台(10)齐平，所述容纳腔包括侧板(21)和底板(22)，底板(22)的底面轴线上依次设有排气接口法兰(23)、坩埚轴接口法兰(24)和电极接口法兰(25)；下保温桶(30)，设于侧板(21)的外围，所述下保温桶(30)的外壁设有护套(31)，所述底板(22)的下方设有托盘(32)。

2.根据权利要求1所述的一种新型晶体生长设备，其特征在于，所述坩埚轴接口法兰(24)设于底板(22)的圆心上，所述排气接口法兰(23)、坩埚轴接口法兰(24)和电极接口法兰(25)之间设有支撑梁，该支撑梁延伸至侧板(21)的侧壁。

3.根据权利要求1所述的一种新型晶体生长设备，其特征在于，所述底板(22)与托盘(32)之间设有底保温毡(40)。

4.根据权利要求1所述的一种新型晶体生长设备，其特征在于，相邻所述支撑脚(11)之间设有横杆(12)，所述横杆(12)之间还设有T型加强板(13)。

5.根据权利要求1所述的一种新型晶体生长设备，其特征在于，所述排气接口法兰(23)内设有排气护套，所述坩埚轴接口法兰(24)的接口上设有轴护套。