[实用新型]真空离子镀膜设备的阴极体座的保护装置有效
| 申请号： | 201922340599.4 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN211227312U | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 高琳;王俊波;白春阳 | 申请（专利权）人： | 大连金泰正新科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 离子 镀膜 设备 阴极 保护装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空离子镀膜设备的阴极体座的保护装置，包括阴极体座（1），其特征是在阴极体座（1）上设有止口凹槽（1-1），在止口凹槽（1-1）旁边设有螺纹（1-2），在止口凹槽（1-1）上安装耐高温绝缘陶瓷环（2），螺纹（1-2）上安装镀膜靶材（3），因为耐高温绝缘陶瓷环（2）不导电，弧光则不会越过耐高温绝缘陶瓷环（2）去刻蚀阴极体座（1），从而有效的保护阴极体座（1）。
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