[实用新型]真空离子镀膜设备的阴极体座的保护装置

说明书

本实用新型属于一种真空离子镀膜设备的阴极体座的保护装置，包括阴极体座（1），其特征是在阴极体座（1）上设有止口凹槽（1‑1），在止口凹槽（1‑1）旁边设有螺纹（1‑2），在阴极体座（1）上的止口凹槽（1‑1）内安装耐高温绝缘陶瓷环（2），螺纹（1‑2）上安装镀膜靶材（3），因为耐高温绝缘陶瓷环（2）不导电，弧光则不会越过耐高温绝缘陶瓷环（2）去刻蚀阴极体座（1），从而有效的保护阴极体座（1），该实用新型结构简单，节约成本，适用于多种阴极体，不仅可以保护阴极体座，还可提高膜层的纯度与使用寿命。

技术领域

本实用新型属于真空离子镀膜设备部件的保护装置，特别涉及一种真空离子镀膜设备的阴极体座的保护装置。

背景技术

在工业领域中，为了增加工具、模具以及零部件的使用寿命，采用真空离子镀是最理想的方式，在真空离子镀膜中阴极体座是离子镀中最核心的部件，目前阴极体座是与靶材直接连接的，靶材在真空室内进行弧光放电时，弧光放电会从靶材表面蔓延到阴极体座外壁上，导致阴极体座外壁被逐渐的刻蚀消耗，从而缩短阴极体座的使用寿命，并使镀膜产品出现膜层成份纯度不高的情况，是对提高膜层质量最有影响的缺陷，导致行业内实现不了膜层质量的突破，并且增加了设备部件的使用量，造成浪费。

发明内容

本实用新型在于克服上述技术不足，提供一种真空离子镀膜设备的阴极体座的保护装置，保证阴极体座部件的安全，提高膜层的纯度，降低成本，适用于不同阴极体座的真空离子镀膜设备的阴极体座的保护装置。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是:一种真空离子镀膜设备的阴极体座的保护装置，包括阴极体座，其特征是在阴极体座上设有止口凹槽，在止口凹槽旁边设有螺纹，在止口凹槽上设有耐高温绝缘陶瓷环，螺纹上可安装镀膜靶材。

本实用新型的有益效果是：该实用新型结构简单，成本低廉，适用于多种阴极体，可以很好的保护阴极体座，节约成本，延长使用寿命，提高膜层的纯度。

附图说明

以下结合附图，以实施例具体说明。

图1为本实用新型实施例的分解图。

图2为本实用新型实施例的主视图。

图中：1-阴极体座；1-1-止口凹槽；1-2-螺纹；2-耐高温绝缘陶瓷环；3-靶材。

具体实施方式

实施例，参照附图，一种真空离子镀膜设备的阴极体座的保护装置，包括阴极体座1，其特征是在阴极体座1上设有止口凹槽1-1，在止口凹槽1-1旁边设有螺纹1-2，在止口凹槽1-1上安装耐高温绝缘陶瓷环2，在螺纹1-2上安装镀膜靶材3。

该实用新型的使用方法是：首先将耐高温绝缘陶瓷环2套在阴极体座1的止口凹槽1-1上，靶材3安装到螺纹1-2上，当靶材3进行弧光放电工作时，因为耐高温绝缘陶瓷环2不导电，弧光则不会越过耐高温绝缘陶瓷环2去刻蚀阴极体座1，从而有效保护阴极体座1。