[实用新型]LED晶圆扩张翻边装置

权利要求书

1.LED晶圆扩张翻边装置，其特征在于：包括直线驱动机构(1)以及连接于其上的晶圆扩张机构，晶圆扩张机构包含连接固定板(2)以及安装其上的支撑架(3)，支撑架(3)上固定一底板(4)，底板(4)上竖立安装有导向柱(15)，中部安装有丝杠支座(23)，丝杠(11)旋转自如地支撑于丝杠支座(23)上，升降板(17)套置于导向柱(15)上，升降板(17)的中部安装有与丝杠(11)相旋配的螺母(7)，丝杠(11)转动可驱动升降板(17)沿导向柱(15)上下运动，升降板(17)上固定一支撑柱(16)，支撑柱(16)的顶端连接固定盘(14)，固定盘(14)上开设有用于安装加热盘(10)的容纳槽，加热盘(10)置于容纳槽内，固定盘(14)的边缘部设有用于嵌装膜片撑环(13)的环形凹槽，膜片撑环(13)嵌入环形凹槽中，固定盘(14)上安装扩晶盘(12)，扩晶盘(12)的外缘设有用于容纳内环的限位台阶部，导向柱(15)的顶端安装有扩晶载板，扩晶载板连接有支撑板(8)，支撑板(8)上安装有旋转压紧机构(9)。

2.根据权利要求1所述的LED晶圆扩张翻边装置，其特征在于：底板(4)上竖立安装有四只导向柱(15)，以正四边形的四顶点形式分布。

3.根据权利要求1所述的LED晶圆扩张翻边装置，其特征在于：升降板(17)通过直线轴承(6)配合于导向柱(15)上。

4.根据权利要求1所述的LED晶圆扩张翻边装置，其特征在于：直线驱动机构(1)的运动轨迹上方依次设有用于放置内环的供给机构、膜片搬运机构、压板机构。

5.根据权利要求1所述的LED晶圆扩张翻边装置，其特征在于：丝杠(11)的下端安装有从动带轮(24)，支撑架(3)上安装有电机(18)，电机(18)的主轴上安装有主动带轮(22)，同步带(21)张紧于主动带轮(22)与从动带轮(24)上。

6.根据权利要求1所述的LED晶圆扩张翻边装置，其特征在于：直线驱动机构(1)为电缸，电缸的运动块与连接固定板(2)连接。

7.根据权利要求1所述的LED晶圆扩张翻边装置，其特征在于：扩晶载板上设有真空吸附孔，真空吸附孔通过气路连接至真空发生器。

8.根据权利要求1所述的LED晶圆扩张翻边装置，其特征在于：旋转压紧机构(9)为旋转压紧气缸。

9.根据权利要求1所述的LED晶圆扩张翻边装置，其特征在于：支撑柱(16)为筒形结构，安装于升降板(17)的中心，丝杠(11)位于其内。