[实用新型]LED晶圆扩张翻边装置

说明书

本实用新型涉及LED晶圆扩张翻边装置，包括直线驱动机构以及连接于其上的晶圆扩张机构，晶圆扩张机构包含连接固定板和支撑架，支撑架上固定一底板，底板上竖立安装有导向柱，中部安装有丝杠支座，丝杠支撑于丝杠支座上，升降板套置于导向柱上，升降板的中部安装有与丝杠相旋配的螺母，升降板上固定一支撑柱，支撑柱的顶端连接固定盘，固定盘上开设有容纳槽，加热盘置于容纳槽内，固定盘的边缘部设有环形凹槽，膜片撑环嵌入环形凹槽中，固定盘上安装扩晶盘，扩晶盘的外缘设有用于容纳内环的限位台阶部，导向柱的顶端安装有扩晶载板，其上安装有旋转压紧机构。自动化实现扩晶后翻边，使扩晶后的膜片长时间保持张力不变，扩晶效率高，效果好。

技术领域

本实用新型涉及一种LED晶圆扩张翻边装置。

背景技术

LED晶片的生产过程中，LED晶片在划片工艺完成后形成阵列排列的晶粒，阵列排列的晶粒贴附在晶片膜上，晶片膜上的晶粒排列非常紧密，不利于后续固晶工序的操作，因此在LED生产过程中必须对充当LED晶粒载体的晶片膜进行扩张，使得贴附在晶片膜上阵列排列的晶粒均匀扩张，扩张后的晶片膜需要使用子母环(即内外环)将扩张后的晶片膜固定，并将多余的晶片膜(即废膜)切除，但是，直接切除(甚至是拉断)废膜后，长时间放置会造成晶片膜张力下降，导致被扩张的晶粒间隙出现回缩及间隙不均匀排列，造成后工序固晶异常。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种LED晶圆扩张翻边装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

LED晶圆扩张翻边装置，特点是：包括直线驱动机构以及连接于其上的晶圆扩张机构，晶圆扩张机构包含连接固定板以及安装其上的支撑架，支撑架上固定一底板，底板上竖立安装有导向柱，中部安装有丝杠支座，丝杠旋转自如地支撑于丝杠支座上，升降板套置于导向柱上，升降板的中部安装有与丝杠相旋配的螺母，丝杠转动可驱动升降板沿导向柱上下运动，升降板上固定一支撑柱，支撑柱的顶端连接固定盘，固定盘上开设有用于安装加热盘的容纳槽，加热盘置于容纳槽内，固定盘的边缘部设有用于嵌装膜片撑环的环形凹槽，膜片撑环嵌入环形凹槽中，固定盘上安装扩晶盘，扩晶盘的外缘设有用于容纳内环的限位台阶部，导向柱的顶端安装有扩晶载板，扩晶载板连接有支撑板，支撑板上安装有旋转压紧机构。

进一步地，上述的LED晶圆扩张翻边装置，其中，底板上竖立安装有四只导向柱，以正四边形的四顶点形式分布。

进一步地，上述的LED晶圆扩张翻边装置，其中，升降板通过直线轴承配合于导向柱上。

进一步地，上述的LED晶圆扩张翻边装置，其中，直线驱动机构的运动轨迹上方依次设有用于放置内环的供给机构、膜片搬运机构、压板机构。

进一步地，上述的LED晶圆扩张翻边装置，其中，丝杠的下端安装有从动带轮，支撑架上安装有电机，电机的主轴上安装有主动带轮，同步带张紧于主动带轮与从动带轮上。

进一步地，上述的LED晶圆扩张翻边装置，其中，直线驱动机构为电缸，电缸的运动块与连接固定板连接。

进一步地，上述的LED晶圆扩张翻边装置，其中，扩晶载板上设有真空吸附孔，真空吸附孔通过气路连接至真空发生器。

进一步地，上述的LED晶圆扩张翻边装置，其中，旋转压紧机构为旋转压紧气缸。

进一步地，上述的LED晶圆扩张翻边装置，其中，支撑柱为筒形结构，安装于升降板的中心，丝杠位于其内。

本实用新型与现有技术相比具有显著的优点和有益效果，具体体现在以下方面：

本实用新型装置设计独特、结构新颖，自动化实现扩晶后翻边，使扩晶后的膜片长时间保持张力不变，使裁切后多余的废膜向上折返贴于外环外侧，扩晶效率高，效果较好，解决因长时间放置导致的晶片膜张力下降的问题。简易适用，为一实用的新设计。