[实用新型]半导体设备运行安全检测装置

权利要求书

1.半导体设备运行安全检测装置，包括半导体设备外壳(1)，其特征在于，所述半导体设备外壳(1)的上表面固定连接有七氟丙烷灭火罐(2)，所述半导体设备外壳(1)的顶部内壁固定连接有传感器集成板(3)，所述传感器集成板(3)的下表面固定连接有烟雾传感器(4)和温度传感器(5)，所述烟雾传感器(4)位于温度传感器(5)的一侧，所述七氟丙烷灭火罐(2)的下表面固定连接有连接管(6)，且连接管(6)位于半导体设备外壳(1)的内部，所述连接管(6)的下端通过连接套(7)螺纹连接有灭火输气管(8)，所述灭火输气管(8)的下表面开设有喷气孔(9)，所述连接管(6)的外表面设有电磁阀(10)，所述半导体设备外壳(1)靠近连接管(6)的一侧外壁固定连接有安全箱(11)，所述半导体设备外壳(1)远离安全箱(11)的一侧内壁顶部位置固定连接有支撑杆(12)，所述安全箱(11)的一侧外壁开设有凹槽(21)，所述凹槽(21)的顶部内壁通过第一固定块(13)固定连接有第一减振弹簧(15)，所述凹槽(21)的底部内壁通过第二固定块(14)固定连接有第二减振弹簧(16)，所述第一减振弹簧(15)的下端固定连接有蜂鸣器(18)，所述蜂鸣器(18)的下表面固定连接有PLC控制器(17)，且PLC控制器(17)的下表面与第二减振弹簧(16)的上端固定连接，所述蜂鸣器(18)的前侧外壁设有扬声器(20)。

2.根据权利要求1所述的半导体设备运行安全检测装置，其特征在于，所述支撑杆(12)的形状呈L字形，所述支撑杆(12)的下端固定连接有挂钩(24)，且挂钩(24)与灭火输气管(8)活动连接。

3.根据权利要求1所述的半导体设备运行安全检测装置，其特征在于，所述喷气孔(9)的数量至少为八个，所述灭火输气管(8)与水平面平行。

4.根据权利要求1所述的半导体设备运行安全检测装置，其特征在于，所述蜂鸣器(18)的两侧外壁均固定连接有警报灯(22)。

5.根据权利要求1所述的半导体设备运行安全检测装置，其特征在于，所述烟雾传感器(4)和温度传感器(5)的外表面均设有同一个传感器防尘罩(23)，且传感器防尘罩(23)与传感器集成板(3)固定连接，且传感器防尘罩(23)的下表面开设有热量进口(25)。

6.根据权利要求1所述的半导体设备运行安全检测装置，其特征在于，所述PLC控制器(17)的前侧外壁设有若干个控制按钮(19)，且烟雾传感器(4)通过PLC控制器(17)与电磁阀(10)电性连接，所述温度传感器(5)通过PLC控制器(17)与蜂鸣器(18)电性连接。

7.根据权利要求5所述的半导体设备运行安全检测装置，其特征在于，所述传感器防尘罩(23)的形状呈圆台形。