[实用新型]半导体设备运行安全检测装置

说明书

本实用新型公开了半导体设备运行安全检测装置，包括半导体设备外壳，所述半导体设备外壳的上表面固定连接有七氟丙烷灭火罐，所述半导体设备外壳的顶部内壁固定连接有传感器集成板，所述传感器集成板的下表面固定连接有烟雾传感器和温度传感器，所述烟雾传感器位于温度传感器的一侧，所述七氟丙烷灭火罐的下表面固定连接有连接管，且连接管位于半导体设备外壳的内部，所述连接管的下端通过连接套螺纹连接有灭火输气管，所述灭火输气管的下表面开设有喷气孔，本实用新型所达到的有益效果是：可以及时的应对高温或者着火的意外情况，对其进行及时有效的灭火处理，同时发出声光报警，保护效果好，并且具备减振结构，延长安全箱的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及一种安全检测装置，特别涉及半导体设备运行安全检测装置，属于半导体加工技术领域。

背景技术

半导体设备作为半导体产业链的支持行业，主要应用于IC制造、IC封测。其中，IC制造包括晶圆制造和晶圆加工设备；IC封测主要用封测产进行采购，包括拣选、测试、贴片、键合等环节。

半导体工厂由于设备昂贵，造价也十分高，一旦发生火灾，将带来不可估量的经济损失，半导体设备因火灾而引起的损害，可以使一个车间造成巨大的损失，有时候，也会使整个工厂造成整体性的毁灭。然而，现有的这类半导体设备并没有相应的安全检测结构设置，因此如果没有采取灭火措施，那么大火就会迅速蔓延到邻近的设备或建筑物，往往会使半导体材料与生产设备毁于一旦，因此，我们提出了半导体设备运行安全检测装置。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，针对现有的半导体设备并没有相应的安全检测结构设置，不能针对运行环境进行安全检测的问题提供半导体设备运行安全检测装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型半导体设备运行安全检测装置，包括半导体设备外壳，所述半导体设备外壳的上表面固定连接有七氟丙烷灭火罐，所述半导体设备外壳的顶部内壁固定连接有传感器集成板，所述传感器集成板的下表面固定连接有烟雾传感器和温度传感器，所述烟雾传感器位于温度传感器的一侧，所述七氟丙烷灭火罐的下表面固定连接有连接管，且连接管位于半导体设备外壳的内部，所述连接管的下端通过连接套螺纹连接有灭火输气管，所述灭火输气管的下表面开设有喷气孔，所述连接管的外表面设有电磁阀，所述半导体设备外壳靠近连接管的一侧外壁固定连接有安全箱，所述半导体设备外壳远离安全箱的一侧内壁顶部位置固定连接有支撑杆，所述安全箱的一侧外壁开设有凹槽，所述凹槽的顶部内壁通过第一固定块固定连接有第一减振弹簧，所述凹槽的底部内壁通过第二固定块固定连接有第二减振弹簧，所述第一减振弹簧的下端固定连接有蜂鸣器，所述蜂鸣器的下表面固定连接有PLC控制器，且PLC控制器的下表面与第二减振弹簧的上端固定连接，所述蜂鸣器的前侧外壁设有扬声器。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述支撑杆的形状呈L字形，所述支撑杆的下端固定连接有挂钩，且挂钩与灭火输气管活动连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述喷气孔的数量至少为八个，所述灭火输气管与水平面平行。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述蜂鸣器的两侧外壁均固定连接有警报灯。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述烟雾传感器和温度传感器的外表面均设有同一个传感器防尘罩，且传感器防尘罩与传感器集成板固定连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述PLC控制器的前侧外壁设有若干个控制按钮，且烟雾传感器通过PLC控制器与电磁阀电性连接，所述温度传感器通过PLC控制器与蜂鸣器电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述传感器防尘罩的形状呈圆台形。