[实用新型]磁控溅射冷却装置

权利要求书

1.磁控溅射冷却装置，包括用于冷却靶材的冷却腔室(1)、及与所述冷却腔室(1)连通的冷却介质存储装置(2)，所述冷却腔室(1)设有腔室进口和腔室出口，所述冷却介质存储装置(2)设有冷却介质进口和冷却介质出口，所述腔室进口与所述冷却介质出口之间、所述腔室出口与所述冷却介质进口之间经连通组件连通，其特征在于：所述连通组件包括与所述冷却介质存储装置(2)螺纹连接的第一连接件(3)、经螺母锁紧在所述冷却腔室(1)的第二连接件(4)、转接件(5)、及连接管组件，所述转接件(5)与所述第一连接件(3)经压块(6)和紧固件(7)连接，所述连接管组件一端固定在所述转接件(5)上且另一端固定在所述第二连接件(4)上。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射冷却装置，其特征在于：所述第一连接件(3)包括第一固定部(3-1)和第一支撑部(3-2)，所述第一固定部(3-1)与所述第一支撑部(3-2)内设有连通的第一通道(3-3)，所述第一固定部(3-1)与所述冷却介质存储装置(2)螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的磁控溅射冷却装置，其特征在于：所述第一支撑部(3-2)与所述冷却介质存储装置(2)之间设有第一密封圈(12)。

4.根据权利要求2所述的磁控溅射冷却装置，其特征在于：所述转接件(5)包括连通部(5-1)、及设置在所述连通部(5-1)周向上的凸台部(5-2)，所述连通部(5-1)、凸台部(5-2)内设有连通的第二通道(5-3)，所述压块(6)套设在所述连通部(5-1)外压紧所述凸台部(5-2)后经所述紧固件(7)固定在所述第一支撑部(3-2)上，所述第二通道(5-3)与所述第一通道(3-3)连通。

5.根据权利要求4所述的磁控溅射冷却装置，其特征在于：所述转接件(5)与所述第一连接件(3)之间设有第二密封圈(13)。

6.根据权利要求1所述的磁控溅射冷却装置，其特征在于：所述第二连接件(4)包括第二固定部(4-1)和第二支撑部(4-2)，所述第二固定部(4-1)、第二支撑部(4-2)内设有第三通道(4-3)，所述第二固定部(4-1)经螺母锁紧在所述冷却腔室(1)上，所述第二支撑部(4-2)与所述连接管组件固定连接。

7.根据权利要求6所述的磁控溅射冷却装置，其特征在于：所述第二支撑部(4-2)与所述冷却腔室(1)之间设有第三密封圈(14)。

8.根据权利要求1所述的磁控溅射冷却装置，其特征在于：所述连接管组件包括波纹管(9)、连接管(11)、连接所述转接件(5)与所述波纹管(9)一端的第一弯头(8)、及连接所述波纹管(9)另一端与所述连接管(11)一端的第二弯头(10)，所述连接管(11)另一端与所述第二连接件(4)固定连接。