[实用新型]磁控溅射冷却装置

说明书

本实用新型公开了磁控溅射冷却装置，包括用于冷却靶材的冷却腔室、及与所述冷却腔室连通的冷却介质存储装置，所述冷却腔室设有腔室进口和腔室出口，所述冷却介质存储装置设有冷却介质进口和冷却介质出口，所述腔室进口与所述冷却介质出口之间、所述腔室出口与所述冷却介质进口之间经连通组件连通，所述连通组件包括与所述冷却介质存储装置螺纹连接的第一连接件、经螺母锁紧在所述冷却腔室的第二连接件、转接件、及连接管组件，所述转接件与所述第一连接件经压块和紧固件连接，所述连接管组件一端固定在所述转接件上且另一端固定在所述第二连接件上。本实用新型提供的磁控溅射冷却装置，方便安装和维护。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射技术领域，特别涉及一种磁控溅射冷却装置。

背景技术

磁控溅射技术目前国内外已大批量使用，它能制造各种功能性玻璃、复合板等产品。随着磁控溅射的普及，客户对磁控溅射的均匀性、可靠性的要求也越来越高。进而对磁控溅射的设备要求也越来越高。一般来讲，磁控溅射设备主要零部件包括电源装置、磁场装置、真空装置、腔体氛围温度调节等因素。而腔体氛围温度调节关系到溅射基材的表面是否有足够的附着力，过高的腔体氛围温度会使膜层附着力急剧恶化，自基材表面剥离而使镀面面失效，产生报废。

参见图1，现有的磁控溅射冷却装置包括用于冷却靶材的冷却腔室100、及与冷却腔室100连通的冷却介质存储装置200，冷却腔室100设有腔室进口和腔室出口，冷却介质存储装置200设有冷却介质进口和冷却介质出口，冷却介质出口与腔室进口之间、冷却介质进口与腔室出口之间依次经第一连接件300、第一连接管400、第一弯头500、波纹管600、第二弯头700、第二连接管800、第二连接件900连通，其中第一连接件300与冷却介质存储装置200螺纹连接，第二连接件900经螺母锁紧在冷却腔室100上，第一连接件300、第一连接管400、第一弯头500、波纹管600、第二弯头700、第二连接管800、第二连接件900依次焊接，由于第一连接件300、第二连接件900之间的中心距大于冷却介质存储装置200上冷却介质出口、冷却介质出口的中心距，使得该组件需要现场施工，且中部波纹管600失效漏水后无法更换，只能切除后更换。

实用新型内容

本实用新型目的是提供一种磁控溅射冷却装置，方便安装和更换。

基于上述问题，本实用新型提供的技术方案是：

磁控溅射冷却装置，包括用于冷却靶材的冷却腔室、及与所述冷却腔室连通的冷却介质存储装置，所述冷却腔室设有腔室进口和腔室出口，所述冷却介质存储装置设有冷却介质进口和冷却介质出口，所述腔室进口与所述冷却介质出口之间、所述腔室出口与所述冷却介质进口之间经连通组件连通，其特征在于：所述连通组件包括与所述冷却介质存储装置螺纹连接的第一连接件、经螺母锁紧在所述冷却腔室的第二连接件、转接件、及连接管组件，所述转接件与所述第一连接件经压块和紧固件连接，所述连接管组件一端固定在所述转接件上且另一端固定在所述第二连接件上。

在其中的一个实施例中，所述第一连接件包括第一固定部和第一支撑部，所述第一固定部与所述第一支撑部内设有连通的第一通道，所述第一固定部与所述冷却介质存储装置螺纹连接。

在其中的一个实施例中，所述第一支撑部与所述冷却介质存储装置之间设有第一密封圈。

在其中的一个实施例中，所述转接件包括连通部、及设置在所述连通部周向上的凸台部，所述连通部、凸台部内设有连通的第二通道，所述压块套设在所述连通部外压紧所述凸台部后经所述紧固件固定在所述第一支撑部上，所述第二通道与所述第一通道连通。

在其中的一个实施例中，所述转接件与所述第一连接件之间设有第二密封圈。

在其中的一个实施例中，所述第二连接件包括第二固定部和第二支撑部，所述第二固定部、第二支撑部内设有第三通道，所述第二固定部经螺母锁紧在所述冷却腔体上，所述第二支撑部与所述连接管组件固定连接。