[实用新型]圆形靶材位置确认治具有效

专利信息
申请号: 201922352751.0 申请日: 2019-12-24
公开(公告)号: CN211219500U 公开(公告)日: 2020-08-11
发明(设计)人: 董意男;常艳超;尤小磊;徐东起;丁静仁;程小明;王冬振 申请(专利权)人: 爱发科电子材料(苏州)有限公司
主分类号: B23P19/00 分类号: B23P19/00;C23C14/34
代理公司: 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 代理人: 丰叶
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 圆形 位置 确认
【权利要求书】:

1.一种圆形靶材位置确认治具,其特征在于:包括圆形基板(1),所述圆形基板(1)的外圆周设置有至少一圈均匀分布的多个螺纹孔(2),任意三个螺纹孔(2)内螺纹连接有限位柱(3),三个所述限位柱(3)的中心轴位于同一圆心上,三个所述限位柱(3)呈圆柱状结构,且每个所述限位柱(3)上设置有一圈凸缘(4),三个所述限位柱(3)与圆形背板的外圆周相切,三个所述凸缘(4)与圆形靶材的外圆周相切,所述凸缘(4)与圆形基板(1)之间的距离为圆形背板的厚度。

2.根据权利要求1所述的圆形靶材位置确认治具,其特征在于:还包括下压组件,所述下压组件位于圆形基板(1)的正上方,所述下压组件包括下压气缸(5)、下压板(6),所述下压板(6)的下端面设置有多个缓冲垫(7),所述多个缓冲垫(7)位于由三个凸缘(4)形成的内切圆的圆内。

3.根据权利要求2所述的圆形靶材位置确认治具,其特征在于:包括底座(8)、龙门架(9),所述龙门架(9)固定在底座(8)上,所述下压气缸(5)固定设置在龙门架(9)的顶部,所述下压板(6)位于龙门架(9)的下方,所述龙门架(9)的下端面设置有导向柱(10),所述导向柱(10)穿过下压板(6)。

4.根据权利要求2或3所述的圆形靶材位置确认治具,其特征在于:所述下压板(6)包括第一压板(6a)、第二压板(6b),所述第一压板(6a)与第二压板(6b)相互平行且两者之间通过弹簧(6c)连接,所述缓冲垫(7)设置在第二压板(6b)的下端面。

5.根据权利要求3所述的圆形靶材位置确认治具,其特征在于:所述底座(8)上设置有至少两条滑轨(11),所述圆形基板(1)通过滑块(12)滑动设置在两条滑轨(11)上,通过外力推拉圆形基板(1),所述圆形基板(1)能沿滑轨(11)来回滑动并且位于下压板(6)正下方和偏离下压板(6)正下方的状态来回切换。

6.根据权利要求5所述的圆形靶材位置确认治具,其特征在于:所述底座(8)上设置有限位板(13),所述限位板(13)位于两条滑轨(11)之间,且恰能限制圆形基板(1)位于下压板(6)正下方,所述限位板(13)与圆形基板(1)相对应的端面之间设置有连接件。

7.根据权利要求6所述的圆形靶材位置确认治具,其特征在于:所述连接件为相对应的吸铁石、铁块,所述吸铁石固定在限位板(13)上,所述铁块固定在圆形基板(1)的侧面。

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