[实用新型]圆形靶材位置确认治具有效

专利信息
申请号: 201922352751.0 申请日: 2019-12-24
公开(公告)号: CN211219500U 公开(公告)日: 2020-08-11
发明(设计)人: 董意男;常艳超;尤小磊;徐东起;丁静仁;程小明;王冬振 申请(专利权)人: 爱发科电子材料(苏州)有限公司
主分类号: B23P19/00 分类号: B23P19/00;C23C14/34
代理公司: 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 代理人: 丰叶
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 圆形 位置 确认
【说明书】:

实用新型公开了一种圆形靶材位置确认治具,包括圆形基板(1),所述圆形基板(1)的外圆周设置有至少一圈均匀分布的多个螺纹孔(2),任意三个螺纹孔(2)内螺纹连接有限位柱(3),三个所述限位柱(3)的中心轴位于同一圆心上,三个所述限位柱(3)呈圆柱状结构,且每个所述限位柱(3)上设置有一圈凸缘(4),三个所述限位柱(3)与圆形背板的外圆周相切,三个所述凸缘(4)与圆形靶材的外圆周相切,所述凸缘(4)与圆形基板(1)之间的距离为圆形背板的厚度。提高背板与靶材同心圆的贴合精度以及贴合效率。

技术领域

本实用新型涉及一种圆形靶材位置确认治具。

背景技术

圆形靶材在制作过程中,需要将背板与靶材进行贴合,对于圆形的背板和圆形靶材的贴合,需要保证两者的圆心重合。目前基本都采用人工进行贴合,贴合的过程中,两者是否位于同心圆位置需要作业人员反复作业,耗时;且由于人工贴合,其位置度精度低。

实用新型内容

为克服上述缺点,本实用新型的目的在于提供一种提高背板与靶材同心圆的贴合精度以及贴合效率的圆形靶材位置确认治具。

为了达到以上目的,本实用新型采用的技术方案是:一种圆形靶材位置确认治具,包括圆形基板,所述圆形基板的外圆周设置有至少一圈均匀分布的多个螺纹孔,任意三个螺纹孔内螺纹连接有限位柱,三个所述限位柱的中心轴位于同一圆心上,三个所述限位柱呈圆柱状结构,且每个所述限位柱上设置有一圈凸缘,三个所述限位柱与圆形背板的外圆周相切,三个所述凸缘与圆形靶材的外圆周相切,所述凸缘与圆形基板之间的距离为圆形背板的厚度。

本实用新型圆形靶材位置确认治具的有益效果是,利用位于三个限位柱圆周阵列分布在圆形基板上,三个限位柱用以限制圆形背板的位置,三个限位柱上的凸缘用以限制圆形靶材的位置,通过该确认治具能快速实现圆形靶材和圆形背板的同心圆的贴合,无需多次校对,提高了效率以及精度。

优选地,还包括下压组件,所述下压组件位于圆形基板的正上方,所述下压组件包括下压气缸、下压板,所述下压板的下端面设置有多个缓冲垫,所述多个缓冲垫位于由三个凸缘形成的内切圆的圆内。下压组件用以实现圆形靶材和圆形背板的快速压合,代替人员压合,也保证了贴合精度;缓冲垫的设置,保护了圆形靶材,防止被压坏。

优选地,包括底座、龙门架,所述龙门架固定在底座上,所述下压气缸固定设置在龙门架的顶部,所述下压板位于龙门架的下方,所述龙门架的下端面设置有导向柱,所述导向柱穿过下压板。导向柱的设置,保证了下压板移动的垂直度,继而保证了贴合精度。

优选地,所述下压板包括第一压板、第二压板,所述第一压板与第二压板相互平行且两者之间通过弹簧连接,所述缓冲垫设置在第二压板的下端面。通过弹簧的设置提供了缓冲。

优选地,所述底座上设置有至少两条滑轨,所述圆形基板通过滑块滑动设置在两条滑轨上,通过外力推拉圆形基板,所述圆形基板能沿滑轨来回滑动并且位于下压板正下方和偏离下压板正下方的状态来回切换。通过滑轨与滑块的设置,可以在上料时,将该圆形基板移至偏离下压板正下方的状态,进行上料;上料好后,再将其推送至下压板正下方,进行压合。

优选地,所述底座上设置有限位板,所述限位板位于两条滑轨之间,且恰能限制圆形基板位于下压板正下方,所述限位板与圆形基板相对应的端面之间设置有连接件。限位板的设置能保证圆形基板被推送至下压板时,使得圆形基板恰能位于下压板正下方,连接件起到固定圆形基板的作用。

优选地,所述连接件为相对应的吸铁石、铁块,所述吸铁石固定在限位板上,所述铁块固定在圆形基板的侧面。采用吸铁石和铁块,结构简单,能快速实现连接。

附图说明

图1为本实施例的结构示意图;

图2为本实施例上料后的结构示意图;

图3为本实施例中圆形基板的俯视图。

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