[实用新型]一种超高真空全金属阀有效
| 申请号： | 201922370922.2 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN211738037U | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 陈本富 | 申请（专利权）人： | 四川宇天真空科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/00 | 分类号： | F16K1/00;F16K51/02;F16K27/02 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 637260 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 超高 真空 全金属 | ||
【权利要求书】：
1.一种超高真空全金属阀，其特征在于，包括旋转机构(1)、焊接波纹管(2)、密封垫(3)、第一密封法兰(4)、第二密封法兰(5)和压力弹簧(6)；所述旋转机构(1)与焊接波纹管(2)连接；所述焊接波纹管(2)与密封垫(3)连接；所述第一密封法兰(4)设置在第二密封法兰(5)下方。
2.根据权利要求1所述的一种超高真空全金属阀，其特征在于，所述密封垫(3)包括高真空金属密封垫。
3.根据权利要求1所述的一种超高真空全金属阀，其特征在于，所述第一密封法兰(4)包括CF法兰。
4.根据权利要求1所述的一种超高真空全金属阀，其特征在于，所述第二密封法兰(5)包括CF法兰。
5.根据权利要求3所述的一种超高真空全金属阀，其特征在于，所述第一密封法兰(4)包括CF真空法兰。
6.根据权利要求4所述的一种超高真空全金属阀，其特征在于，所述第二密封法兰(5)包括CF真空法兰。
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