[实用新型]一种超高真空全金属阀

说明书

本实用新型公开了一种超高真空全金属阀，包括旋转机构、焊接波纹管、密封垫、第一密封法兰、第二密封法兰和压力弹簧；所述旋转机构与焊接波纹管连接；所述焊接波纹管与密封垫连接；所述第一密封法兰设置在第二密封法兰下方等。本实用新型解决了高温下，或者低温时，存在气密性差的问题，能在高温300度，低温正‑200度正常使用，气密性好漏气率小，阀门几乎无需维护，可靠性高，可满足从大气压到低于10‑11torr(mbar)的真空密封。

技术领域

本实用新型涉及金属阀技术领域，更为具体地，涉及一种超高真空全金属阀。

背景技术

全金属真空阀门是真空系统的重要元件。但是，在现有技术中，一般阀门密封结构主要是采用橡胶垫圈密封，利用阀板与阀座间压紧橡胶垫圈连接，通常会将橡胶垫的高度压缩比控制在15％以上，以达到漏气率小于1.33×10-7Pa·L/s·cFn的使用要求。

但是，这种技术在高温下，或者低温时，会存在气密性较差，漏气率高，且阀门需要经常维护，养护成本高等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种超高真空全金属阀，解决了高温下，或者低温时，存在气密性差的问题，能在高温300度，低温正-200度正常使用，气密性好漏气率小，阀门几乎无需维护，可靠性高，可满足从大气压到低于10-11torr(mbar)的真空密封。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种超高真空全金属阀，包括旋转机构、焊接波纹管、密封垫、第一密封法兰、第二密封法兰和压力弹簧；所述旋转机构与焊接波纹管连接；所述焊接波纹管与密封垫连接；所述第一密封法兰设置在第二密封法兰下方。

进一步的，所述密封垫包括高真空金属密封垫。

进一步的，所述第一密封法兰包括CF法兰。

进一步的，所述第二密封法兰包括CF法兰。

进一步的，所述第一密封法兰包括CF真空法兰。

进一步的，所述第二密封法兰包括CF真空法兰。

本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型通过旋转机构、焊接波纹管、密封垫、第一密封法兰、第二密封法兰和压力弹簧等，解决了高温下，或者低温时，存在气密性差的问题，能在高温300度，低温正-200度正常使用，气密性好漏气率小，阀门几乎无需维护，可靠性高，可满足从大气压到低于10-11torr(mbar)的真空密封。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的第一结构示意图；

图2为本实用新型的第二结构示意图；

图3为本实用新型的第三结构示意图；

图中，1-旋转机构，2-焊接波纹管，3-密封垫，4-第一密封法兰，5-第二密封法兰，6-压力弹簧。

具体实施方式

下面结合附图进一步详细描述本实用新型的技术方案，但本实用新型的保护范围不局限于以下所述。本说明书(包括任何附加权利要求、摘要和附图)中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。