[实用新型]一种提高PVD颜色均匀性的集成毛细气管供气装置有效
| 申请号： | 201922375029.9 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN211142152U | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 黄李平;欧阳军奇;范绪华;阮宗浩;万丹丹;陈江海;廖生;唐永琼 | 申请（专利权）人： | 深圳市正和忠信股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 中山市兴华粤专利代理有限公司 44345 | 代理人： | 邓爱军 |
| 地址： | 518117 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 提高 pvd 颜色 均匀 集成 气管 供气 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种提高PVD颜色均匀性的集成毛细气管供气装置，其特征在于，包括与主气管一端对接连通的气管头，该主气管与气管头对接端设置有毛细气管集成孔板，主气管另一端封闭设置；
主气管设置有排气孔，每一个排气孔与毛细气管集成孔板上的一个进气孔通过一根毛细气管连通；
主气管包括焊接为一体的上半主气管和下半主气管。
2.如权利要求1所述提高PVD颜色均匀性的集成毛细气管供气装置，其特征在于，毛细气管集成孔板与主气管焊接为一体，毛细气管两端分别与毛细气管集成孔板和主气管焊接。
3.如权利要求2所述提高PVD颜色均匀性的集成毛细气管供气装置，其特征在于，毛细气管的直径为0.1mm至0.4mm，毛细气管的数量为5至30个，相邻两个排气孔的孔间距为30mm至200mm。
4.如权利要求2所述提高PVD颜色均匀性的集成毛细气管供气装置，其特征在于，毛细气管的直径为0.2mm至0.3mm。
5.如权利要求2所述提高PVD颜色均匀性的集成毛细气管供气装置，其特征在于，毛细气管的数量为8至16个。
6.如权利要求2所述提高PVD颜色均匀性的集成毛细气管供气装置，其特征在于，相邻两个排气孔的孔间距为50mm至100mm。
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