[实用新型]一种提高PVD颜色均匀性的集成毛细气管供气装置

说明书

本实用新型公开了一种提高PVD颜色均匀性的集成毛细气管供气装置，包括与主气管一端对接连通的气管头，该主气管与气管头对接端设置有毛细气管集成孔板，主气管另一端封闭设置；主气管设置有排气孔，每一个排气孔与毛细气管集成孔板上的一个进气孔通过一根毛细气管连通；主气管包括焊接为一体的上半主气管和下半主气管。本实用新型采用集成毛细气管供气装置，提高了装饰镀膜产品整炉颜色均匀性，对于敏感性的干涉颜色，整炉颜色均匀性好，良率由85％提高到98％左右，减少了检验成本，返工成本，对于普通的颜色，减少堵气管调试的成本，大大提高开发效率。

技术领域

本实用新型属于磁控溅射真空镀膜技术领域，尤其涉及一种提高PVD颜色均匀性的集成毛细气管供气装置。

背景技术

磁控溅射真空镀膜一般采用平面阴极或者旋转圆柱阴极，阴极上有镀膜所需靶材，在一定的真空条件下，通入工作气体Ar，通过磁场和电场的综合作用，使靶材表面的局部区域形成辉光，将靶材粒子从靶材表面溅射出来，根据对装饰涂层颜色的要求，选用不同的靶材组合，通入反应气体N₂，C₂H₂，O₂等，形成各种碳化物，氮化物，碳氮化物，氧化物等涂层，颜色丰富多彩。

装饰涂层是大批量的生产，气体分布的均匀性是影响整炉颜色均匀性的重要因素。气体一般是通过不锈钢气管通入到阴极附近，一般一端进气，另一端封闭，然后在气管上开孔，通过孔的数量、朝向、直径和间距来调节气体分布的均匀性。

现有的气管气孔是均匀分布的，最前面的出气孔出气最大，最后的出气孔出气最小，这样导致气体分布不均，需要堵气管验证来调整，影响开发调试进度。

实用新型内容

针对现有气管气孔均匀分布，导致气体分布不均，需要堵气管调试的问题，本实用新型提供了一种提高PVD颜色均匀性的集成毛细气管供气装置。

本实用新型是这样实现的，一种提高PVD(physical vapor deposit，物理气相沉积)颜色均匀性的集成毛细气管供气装置包括与主气管一端对接连通的气管头，该主气管与气管头对接端设置有毛细气管集成孔板，主气管另一端封闭设置；

主气管设置有排气孔，每一个排气孔与毛细气管集成孔板上的一个进气孔通过一根毛细气管连通；

主气管包括焊接为一体的上半主气管和下半主气管。

进一步，毛细气管集成孔板与主气管焊接为一体，毛细气管两端分别与毛细气管集成孔板和主气管焊接。

进一步，毛细气管的直径为0.1mm至0.4mm，毛细气管的数量为5至30个，相邻两个排气孔的孔间距为30mm至200mm。

进一步，毛细气管的直径为0.2mm至0.3mm。

进一步，毛细气管的数量为8至16个。

进一步，相邻两个排气孔的孔间距为50mm至100mm。

本实用新型采用集成毛细气管供气装置，提高了装饰镀膜产品整炉颜色均匀性，对于敏感性的干涉颜色，整炉颜色均匀性好，良率由85％提高到98％左右，减少了检验成本，返工成本，对于普通的颜色，减少堵气管调试的成本，大大提高开发效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的提高PVD颜色均匀性的集成毛细气管供气装置的内部结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的提高PVD颜色均匀性的集成毛细气管供气装置的立体图；

图3是本实用新型实施例提供的毛细气管集成孔板的结构示意图；

图中：1、气管头；2、毛细气管集成孔板；3、主气管；3-1、上半主气管；3-2、下半主气管；4、毛细气管；5、排气孔；6、供气孔。