[实用新型]一种大功率半导体器件生产用外观检验装置有效

专利信息
申请号: 201922388564.8 申请日: 2019-12-27
公开(公告)号: CN211088211U 公开(公告)日: 2020-07-24
发明(设计)人: 庄伟东 申请(专利权)人: 南京银茂微电子制造有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 黄智明
地址: 211200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 大功率 半导体器件 生产 外观 检验 装置
【权利要求书】:

1.一种大功率半导体器件生产用外观检验装置,包括工作台(1),其特征在于,所述工作台(1)顶部外壁开设有矩形开口,且矩形开口的内壁设置输送带(7),所述矩形开口的两侧内壁均设置有挡板(9),所述工作台(1)顶部外壁通过螺栓固定有安装罩(4),且安装罩(4)顶部外壁通过螺栓固定有显示器(6),所述安装罩(4)的一侧外壁设置有盖板(5),所述安装罩(4)两侧内壁的两端均通过螺栓固定有弧形结构的电动滑轨(10),且两个电动滑轨(10)的两侧内壁均设置有检验机构(11),所述工作台(1)一侧外壁的一侧通过螺栓固定有控制箱(2),且工作台(1)靠近控制箱(2)的一侧外壁设置有检修门(3)。

2.根据权利要求1所述的一种大功率半导体器件生产用外观检验装置,其特征在于,所述检验机构(11)包括按安装框(12),且安装框(12)的两侧内壁通过轴承固定有安装块(13)。

3.根据权利要求2所述的一种大功率半导体器件生产用外观检验装置,其特征在于,所述安装块(13)的一侧外壁通过螺栓固定有高清探头(14),且安装块(13)传动轴的一端套接有齿轮(15)。

4.根据权利要求3所述的一种大功率半导体器件生产用外观检验装置,其特征在于,所述安装框(12)的一侧内壁滑动连接有齿条(16),且齿条(16)和齿轮(15)相互啮合。

5.根据权利要求4所述的一种大功率半导体器件生产用外观检验装置,其特征在于,所述安装框(12)底部内壁通过螺栓固定有安装管(21),且安装管(21)的内壁滑动连接有磁铁(19)。

6.根据权利要求5所述的一种大功率半导体器件生产用外观检验装置,其特征在于,所述磁铁(19)顶部外壁通过螺栓固定有连接柱(17),且连接柱(17)顶部外壁连接在齿条(16)上,所述安装管(21)底部内壁通过螺栓固定有电磁铁(20),且电磁铁(20)和磁铁(19)之间连接有同一个弹簧(18)。

7.根据权利要求6所述的一种大功率半导体器件生产用外观检验装置,其特征在于,所述电动滑轨(10)和电磁铁(20)均通过导线连接有开关,且开关通过导线连接有控制器。

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