[实用新型]一种大功率半导体器件生产用外观检验装置有效
申请号: | 201922388564.8 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN211088211U | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 庄伟东 | 申请(专利权)人: | 南京银茂微电子制造有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 黄智明 |
地址: | 211200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 大功率 半导体器件 生产 外观 检验 装置 | ||
1.一种大功率半导体器件生产用外观检验装置,包括工作台(1),其特征在于,所述工作台(1)顶部外壁开设有矩形开口,且矩形开口的内壁设置输送带(7),所述矩形开口的两侧内壁均设置有挡板(9),所述工作台(1)顶部外壁通过螺栓固定有安装罩(4),且安装罩(4)顶部外壁通过螺栓固定有显示器(6),所述安装罩(4)的一侧外壁设置有盖板(5),所述安装罩(4)两侧内壁的两端均通过螺栓固定有弧形结构的电动滑轨(10),且两个电动滑轨(10)的两侧内壁均设置有检验机构(11),所述工作台(1)一侧外壁的一侧通过螺栓固定有控制箱(2),且工作台(1)靠近控制箱(2)的一侧外壁设置有检修门(3)。
2.根据权利要求1所述的一种大功率半导体器件生产用外观检验装置,其特征在于,所述检验机构(11)包括按安装框(12),且安装框(12)的两侧内壁通过轴承固定有安装块(13)。
3.根据权利要求2所述的一种大功率半导体器件生产用外观检验装置,其特征在于,所述安装块(13)的一侧外壁通过螺栓固定有高清探头(14),且安装块(13)传动轴的一端套接有齿轮(15)。
4.根据权利要求3所述的一种大功率半导体器件生产用外观检验装置,其特征在于,所述安装框(12)的一侧内壁滑动连接有齿条(16),且齿条(16)和齿轮(15)相互啮合。
5.根据权利要求4所述的一种大功率半导体器件生产用外观检验装置,其特征在于,所述安装框(12)底部内壁通过螺栓固定有安装管(21),且安装管(21)的内壁滑动连接有磁铁(19)。
6.根据权利要求5所述的一种大功率半导体器件生产用外观检验装置,其特征在于,所述磁铁(19)顶部外壁通过螺栓固定有连接柱(17),且连接柱(17)顶部外壁连接在齿条(16)上,所述安装管(21)底部内壁通过螺栓固定有电磁铁(20),且电磁铁(20)和磁铁(19)之间连接有同一个弹簧(18)。
7.根据权利要求6所述的一种大功率半导体器件生产用外观检验装置,其特征在于,所述电动滑轨(10)和电磁铁(20)均通过导线连接有开关,且开关通过导线连接有控制器。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造