[实用新型]一种研磨机用钨丝弯曲力天平放大感应机构有效
申请号: | 201922388741.2 | 申请日: | 2019-12-26 |
公开(公告)号: | CN211565344U | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
发明(设计)人: | 高兴森;李向超 | 申请(专利权)人: | 江苏微影智能装备有限公司 |
主分类号: | B24B5/48 | 分类号: | B24B5/48;B24B5/35;B24B49/00 |
代理公司: | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人: | 聂启新 |
地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 研磨机 钨丝 弯曲 天平 放大 感应 机构 | ||
1.一种研磨机用钨丝弯曲力天平放大感应机构,其特征在于:包括立板(1),
所述立板(1)的一端面设置用于感应和放大研磨材料(201)弯曲力的杠杆组件(3),所述杠杆组件(3)的一侧衔接加工组件(2),所述杠杆组件(3)的另一侧安装用于检测杠杆组件(3)运动状态的感应组件(5)。
2.如权利要求1所述的一种研磨机用钨丝弯曲力天平放大感应机构,其特征在于:所述杠杆组件(3)包括用于将研磨材料(201)弯曲变形量放大的天平结构,所述天平结构的下方设置天平固定组件,所述天平结构的底端与天平固定组件铰接,所述天平结构上还安装用于调节天平平衡状态的调平组件。
3.如权利要求2所述的一种研磨机用钨丝弯曲力天平放大感应机构,其特征在于:所述天平固定组件包括与立板(1)垂直安装的天平底板(307),所述天平底板(307)上安装天平底座(305),所述天平底座(305)的底部通过连接块(306)与天平底板(307)固接;
所述天平结构包括摆臂(301),所述摆臂(301)的前后端面与天平底板(307)垂直,所述天平底座(305)的顶部开设用于容纳摆臂(301)摆动的安装槽,所述摆臂(301)的底部插入所述安装槽内,并通过轴承(304)与安装槽的两端槽壁铰接;
所述调平组件包括安装于摆臂(301)顶部的平衡丝杠(302),于所述平衡丝杠(302)的中部旋合若干个螺母(303)。
4.如权利要求3所述的一种研磨机用钨丝弯曲力天平放大感应机构,其特征在于:所述摆臂(301)的底部为横板(3011),所述横板(3011)的上下表面与天平底板(307)平行,所述横板(3011)的两侧对称设置向外倾斜并向上延伸的斜臂(3012),两侧斜臂(3012)的上端分别沿平行于天平底板(307)的方向向外延伸形成横臂(3013),所述横臂(3013)的一侧伸出立板(1)端面,位于立板(1)外侧的横臂(3013)衔接加工组件(2),另一侧横臂(3013)衔接感应组件(5),所述平衡丝杠(302)的两端分别平行固接于相邻横臂(3013)的上表面。
5.如权利要求1所述的一种研磨机用钨丝弯曲力天平放大感应机构,其特征在于:所述感应组件(5)包括用于检测摆臂(301)摆动幅度的传感器组件。
6.如权利要求5所述的一种研磨机用钨丝弯曲力天平放大感应机构,其特征在于:所述传感器组件包括传感器(501)和感应片(502),
在立板(1)内侧的横臂(3013)末端安装垂直于天平底板(307)的感应片(502),于所述感应片(502)下方的立板(1)上安装传感器(501),所述传感器(501)的顶部开设供感应片(502)自由通过的感应槽,所述感应片(502)的下表面在杠杆组件(3)处于平衡状态时与感应槽的上表面共面。
7.如权利要求1所述的一种研磨机用钨丝弯曲力天平放大感应机构,其特征在于:所述加工组件(2)包括夹套(202)和丝状的研磨材料(201),位于立板(1)外侧的横臂(3013)末端开设用于固定夹套(202)的连接槽,所述夹套(202)的中心开设供研磨材料(201)穿过的中心通孔,所述夹套(202)和研磨材料(201)的外周均与天平底板(307)垂直,所述夹套(202)的上部的外壁上还开设紧定螺钉孔(203),所述紧定螺钉孔(203)内安装用于固定研磨材料(201)的紧定螺钉。
8.如权利要求1所述的一种研磨机用钨丝弯曲力天平放大感应机构,其特征在于:还包括滑台组件(4),
所述滑台组件(4)包括位于杠杆组件(3)同一端、垂直固接于立板(1)上的滑台底座(402),于滑台底座(402)上相对天平底板(307)安装手动滑台(401),所述天平底板(307)固接于手动滑台(401)上,使杠杆组件(3)与手动滑台(401)一体滑动,于手动滑台(401)的一侧还设置用于微调手动滑台(401)位置的调节旋杆(4011)。
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