[实用新型]一种研磨机用钨丝弯曲力天平放大感应机构

说明书

本实用新型涉及一种研磨机用钨丝弯曲力天平放大感应机构，包括立板，立板的一端面设置用于感应和放大研磨材料弯曲力的杠杆组件，杠杆组件的一侧衔接加工组件，杠杆组件的另一侧安装用于检测杠杆组件运动状态的感应组件。本实用新型结构合理，将钨丝微小的弯曲变形量通过杠杆组件放大成可供测量的位移量，并通过感应片和传感器完成检测，在外部控制系统的配合下处理检测数据，实时判断钨丝的状态，自动控制钨丝进给运动的启停，全程无需人工操作，操作方便，加工过程稳定可控，生产效率大幅提高，解决了钨丝弯曲力难以检测而阻碍焊针内孔研磨过程自动化的问题。

技术领域

本实用新型涉及研磨机技术领域，尤其是一种研磨机用钨丝弯曲力天平放大感应机构。

背景技术

半导体芯片封装时，金丝从焊针的内孔中送出，对集成电路进行封装焊接，因而焊针内孔的直径及光滑度是影响封装效果的关键因素，所以焊针内孔研磨抛光是焊针加工的关键工序。焊针一般为陶瓷材料，为保证使用寿命还会进行热处理，所以焊针材质的硬度极高，对其内孔研磨加工需由钨丝蘸金刚石软膏来实现，且所用钨丝的直径需略大于焊针毛坯的内孔直径，例如焊针的毛坯内孔直径为28μm，则要用30μm直径的钨丝来扩孔和抛光。这样钨丝在焊针内孔中的进给过程中必然遇到阻力，可能使钨丝弯曲甚至折断而失去加工能力。由于焊针内孔尺寸通常仅几十微米，因而产生阻力在数值上非常小，相当于一根头发丝微微弯曲所需要的力。如何感应这么小的弯曲量和弯曲力，是解决焊针内孔研磨抛光全自动加工的首要技术瓶颈。

实用新型内容

本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种研磨机用钨丝弯曲力天平放大感应机构，从而将微小的弯曲力等效放大至可以检测的感应片位移，从而准确判断钨丝的状态，自动控制钨丝的进给运动启停。

本实用新型所采用的技术方案如下：

一种研磨机用钨丝弯曲力天平放大感应机构，包括立板，立板的一端面设置用于感应和放大研磨材料弯曲力的杠杆组件，杠杆组件的一侧衔接加工组件，杠杆组件的另一侧安装用于检测杠杆组件运动状态的感应组件。

其进一步技术方案在于：

杠杆组件包括用于将研磨材料弯曲变形量放大的天平结构，天平结构的下方设置天平固定组件，天平结构的底端与天平固定组件铰接，天平结构上还安装用于调节天平平衡状态的调平组件；

天平固定组件包括与立板垂直安装的天平底板，天平底板上安装天平底座，天平底座的底部通过连接块与天平底板固接；天平结构包括摆臂，摆臂的前后端面与天平底板垂直，天平底座的顶部开设用于容纳摆臂摆动的安装槽，摆臂的底部插入安装槽内，并通过轴承与安装槽的两端槽壁铰接；调平组件包括安装于摆臂顶部的平衡丝杠，于平衡丝杠的中部旋合若干个螺母；

摆臂的底部为横板，横板的上下表面与天平底板平行，横板的两侧对称设置向外倾斜并向上延伸的斜臂，两侧斜臂的上端分别沿平行于天平底板的方向向外延伸形成横臂，横臂的一侧伸出立板端面，位于立板外侧的横臂衔接加工组件，另一侧横臂衔接感应组件，平衡丝杠的两端分别平行固接于相邻横臂结构的上表面；

感应组件包括用于检测摆臂摆动幅度的传感器组件；

传感器组件包括传感器和感应片，在立板内侧的横臂末端安装垂直于天平底板的感应片，于感应片下方的立板上安装传感器，传感器的顶部开设供感应片自由通过的感应槽，感应片的下表面在杠杆组件处于平衡状态时与感应槽的上表面共面；

加工组件包括夹套和丝状的研磨材料，位于立板外侧的横臂结构末端开设用于固定夹套的连接槽，夹套的中心开设供研磨材料穿过的中心通孔，夹套和研磨材料的外周均与天平底板垂直，夹套的上部的外壁上还开设紧定螺钉孔，紧定螺钉孔内安装用于固定研磨材料的紧定螺钉；