[实用新型]一种晶元刷洗机晶元夹持机构

说明书

本实用新型是一种晶元刷洗机晶元夹持机构，其结构包括盘体和沿圆周向均匀安装在盘体边缘上的4个夹子总成，4个夹子总成底面连接下顶盘，4个夹子总成顶端夹取晶元。本实用新型的优点：结构简单设计合理，工作时，下顶7向上运动会打开夹子，下降时，因张力弹簧作用，夹子会夹紧晶元。当晶元高速旋转的时候夹子支架因向心力作用夹子不会打开。实现了在刷洗晶元时对晶元进行有效夹持，可有效满足生产需要。

技术领域

本实用新型涉及的是一种晶元刷洗机晶元夹持机构。

背景技术

在半导体晶元生产过程中，无法避免会有生产环境中的小灰尘或是工艺反应物掉落在晶元上，如果不及时清除，会使晶元良率降低，影响产品质量稳定性。

现有技术中一般清除的方法是通过低发尘的发泡刷子在晶元表面刷洗去掉灰尘。当晶元两面都有图形时，就要采用夹持的方式来固定晶元。同时晶元干燥时需要让晶元达到3000RPM的转动。现有技术中的夹持机构结构设计不合理，无法有效满足以上生产需要。

实用新型内容

本实用新型提出的是一种晶元刷洗机晶元夹持机构，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，实现在刷洗晶元时对晶元进行有效夹持。

本实用新型的技术解决方案：一种晶元刷洗机晶元夹持机构，其结构包括盘体和沿圆周向均匀安装在盘体边缘上的4个夹子总成，4个夹子总成底面连接下顶盘，4个夹子总成顶端夹取晶元。

优选的，所述的夹子总成包括夹子底座、夹子支架、夹头、张力弹簧和销子，“L”形夹子支架折弯处通过销子与夹子底座端部转动连接，夹子底座位于夹子支架水平部顶面上，夹子底座底面与夹子支架水平部顶面之间连接有张力弹簧，夹子支架竖直部顶端设“L”形夹头。

本实用新型的优点：结构简单设计合理，工作时，下顶7向上运动会打开夹子，下降时，因张力弹簧作用，夹子会夹紧晶元。当晶元高速旋转的时候夹子支架因向心力作用夹子不会打开。实现了在刷洗晶元时对晶元进行有效夹持，可有效满足生产需要。

附图说明

图1是本实用新型晶元刷洗机晶元夹持机构的结构示意图。

图2是图1中夹子总成的结构示意图。

图中的1是夹子底座、2是夹子支架、3是夹头、4是张力弹簧、5是销子、6是盘体、7是下顶盘、8是晶元、9是夹子总成。

具体实施方式

下面结合实施例和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1、2所示，一种晶元刷洗机晶元夹持机构，其结构包括盘体6和沿圆周向均匀安装在盘体6边缘上的4个夹子总成9，4个夹子总成9底面连接下顶盘7，4个夹子总成9顶端夹取晶元8。

所述的夹子总成9包括夹子底座1、夹子支架2、夹头3、张力弹簧4和销子5，“L”形夹子支架2折弯处通过销子5与夹子底座1端部转动连接，夹子底座1位于夹子支架2水平部顶面上，夹子底座1底面与夹子支架2水平部顶面之间连接有张力弹簧4，夹子支架2竖直部顶端设“L”形夹头3。

根据以上结构，工作时，下顶盘7向上运动会打开夹子，下降时，因张力弹簧4作用，夹子会夹紧晶元。当晶元高速旋转的时候夹子支架2因向心力作用夹子不会打开。

以上所述各部件均为现有技术，本领域技术人员可使用任意可实现其对应功能的型号和现有设计。

以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。