[实用新型]一种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构有效
申请号: | 201922395216.3 | 申请日: | 2019-12-26 |
公开(公告)号: | CN211595785U | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 盛立远 | 申请(专利权)人: | 北京大学深圳研究院 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/35;C23C14/06 |
代理公司: | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人: | 万永泉 |
地址: | 518000 广东省深圳市高新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 柱状 表面 涂层 物理 沉积 轴向 转动 夹持 机构 | ||
1.一种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构,其特征在于:包括基座(1)及固定安装在所述基座(1)上的固定组件,所述固定组件一端设置有可径向转动的转动部(2)及用于驱动所述转动部(2)转动的转动驱动电机(5),所述转动部(2)上设有用于固定柱状件(20)的柱状件固定装置。
2.根据权利要求1所述的一种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构,其特征在于:所述固定组件包括固定部(3)及动力部(4),所述固定部(3)与动力部(4)相互固定。
3.根据权利要求2所述的一种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构,其特征在于:所述转动部(2)通过转动轴承(30)安装在固定部(3)上,所述转动驱动电机(5)安装在所述动力部(4)内部,所述转动驱动电机(5)的输出轴上设置有主动驱动齿轮(51),所述转动部(2)的一端设置有与所述主动驱动齿轮(51)相互啮合的从动驱动齿轮(52),所述转动驱动电机(5)可通过所述主动驱动齿轮(51)、从动驱动齿轮(52)驱动所述转动部(2)转动并进一步带动固定在转动部(2)上的柱状件(20)转动。
4.根据权利要求3所述的一种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构,其特征在于:所述转动部(2)一端具有向外延伸的转动轴(21),所述固定部(3)中间位置开设有适配所述转动轴(21)穿过的固定部中间通孔(31),所述转动轴(21)穿过所述固定部中间通孔(31)且所述从动驱动齿轮(52)安装在转动轴(21)穿过固定部中间通孔(31)的一端,所述固定部(3)上开设有用于安装所述转动轴承(30)的轴承安装位(32),所述转动轴承(30)的外圈固定安装在所述轴承安装位(32)的侧壁,所述转动轴(21)固定安装在所述转动轴承(30)的内圈。
5.根据权利要求4所述的一种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构,其特征在于:所述转动驱动电机(5)的输出轴与主动驱动齿轮(51)之间及转动轴(21)与从动驱动齿轮(52)之间均设置有键组件,所述键组件包括固定键(61)及固定键顶压弹簧(62),所述转动驱动电机(5)的输出轴及转动轴(21)上均开设有键安装位(63),所述固定键(61)设置在所述键安装位(63)中,所述固定键顶压弹簧(62)设置在键安装位(63)底部与固定键(61)底部之间并将固定键(61)的上部部分压入到主动驱动齿轮(51)或从动驱动齿轮(52)上对应的锁紧凹位,所述固定键(61)上部两端具有斜角结构(611)。
6.根据权利要求3所述的一种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构,其特征在于:所述动力部(4)内部设置有电机安装位(41),所述转动驱动电机(5)固定安装在所述电机安装位(41)中,所述固定部(3)在其远离转动部(2)的一端向内开设有用于容纳所述主动驱动齿轮(51)及从动驱动齿轮(52)的齿轮避空凹位(33);
所述动力部(4)及主动驱动齿轮(51)均为由高分子绝缘材料制成的部件。
7.根据权利要求2所述的一种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构,其特征在于:所述固定部(3)与动力部(4)通过连接组件相互固定,所述连接组件包括铰接在固定部(3)侧壁的连接杆(71)及设置在连接杆(71)自由端的连接杆锁紧螺栓(72),所述连接杆锁紧螺栓(72)与所述动力部(4)固定连接,所述固定部(3)侧壁具有连接铰接座(73),所述连接杆(71)一端铰接安装在所述连接铰接座(73)上,所述连接杆(71)自由端开设有用于安装所述连接杆锁紧螺栓(72)的通孔,所述连接杆锁紧螺栓(72)穿过所述连接杆(71)的通孔后螺纹连接在动力部(4)上。
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