[实用新型]一种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构

说明书

本实用新型公开了一种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构，包括基座及固定安装在所述基座上的固定组件，所述固定组件一端设置有可径向转动的转动部及用于驱动所述转动部转动的转动驱动电机，所述转动部上设有用于固定柱状件的柱状件固定装置，所述固定组件包括固定部及动力部，所述固定部与动力部相互固定。该种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构具有结构简单、实施成本低、实施难度小、加工质量高、涂层一致性高等现有技术所不具备的优点。

技术领域

本实用新型涉及表面改性领域用辅助设备，特别是一种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构。

背景技术

表面改性技术是利用物理沉积、化学沉积、机械喷涂等手段将特定涂层材料覆盖到零部件表面，从而使零部件表面获得涂层材料的性能，进而提高零部件的耐腐蚀、耐磨损、耐高温、耐氧化等性能的一种技术。物理气相沉积是在真空条件下，采用物理方法，将材料源表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术，主要方法有，真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜，及分子束外延等。但是在常规的物理气相沉积加工过程中，零件形状对表面沉积涂层的效果有着显著的影响，对于具有柱状结构的小零件，如果采用样品台整体转动的方式进行表面涂层沉积，则样品单批次加工数量很少，极大地增加了加工成本，而且又无法保证不同位置涂层沉积条件的一致性，降低了表面涂层的整体性能。如果在样品台上进行转动机构的设计，那将极大增加设备的改造成本，而且需要设计针对不同尺寸零件的样品台，尤其对于数量少的零件表面涂层沉积，将会带来非常大浪费。

综上，现有技术存在加工成本高、设备改造困难大、设备改造成本大、结构复杂、生产效率低下、柱状件表面涂层的一致性差等缺陷，所述种种缺陷限制了本领域进一步发展和推广应用。

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种新的技术方案以解决现存的技术缺陷。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构，解决了现有技术在进行柱状件在进行表面涂层物理气相沉积时存在的结构复杂、工作效率低下、实施成本高、柱状件涂层的一致性差等技术缺陷。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构，包括基座及固定安装在所述基座上的固定组件，所述固定组件一端设置有可径向转动的转动部及用于驱动所述转动部转动的转动驱动电机，所述转动部上设有用于固定柱状件的柱状件固定装置。

作为上述技术方案的改进，所述固定组件包括固定部及动力部，所述固定部与动力部相互固定。

作为上述技术方案的进一步改进，所述转动部通过转动轴承安装在固定部上，所述转动驱动电机安装在所述动力部内部，所述转动驱动电机的输出轴上设置有主动驱动齿轮，所述转动部的一端设置有与所述主动驱动齿轮相互啮合的从动驱动齿轮，所述转动驱动电机可通过所述主动驱动齿轮、从动驱动齿轮驱动所述转动部转动并进一步带动固定在转动部上的柱状件转动。

作为上述技术方案的进一步改进，所述转动部一端具有向外延伸的转动轴，所述固定部中间位置开设有适配所述转动轴穿过的固定部中间通孔，所述转动轴穿过所述固定部中间通孔且所述从动驱动齿轮安装在转动轴穿过固定部中间通孔的一端，所述固定部上开设有用于安装所述转动轴承的轴承安装位，所述转动轴承的外圈固定安装在所述轴承安装位的侧壁，所述转动轴固定安装在所述转动轴承的内圈。