[实用新型]一种光学镀膜辅助离子源有效
| 申请号： | 201922397576.7 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN211125564U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 安建昊;唐欢欢 | 申请（专利权）人： | 江苏普拉斯玛机械有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;C23C14/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光学 镀膜 辅助 离子源 | ||
【权利要求书】：
1.一种光学镀膜辅助离子源，包括放电室(1)、位于放电室(1)外侧的磁棒(2)及依次安装在放电室(1)正前方的屏极(3)、加速极(4)及中和灯丝(5)，其特征在于：所述放电室内(1)安装有第一阳极筒(6)和第二阳极筒(7)，所述放电室(1)进口端内安装有位于所述第一阳极筒(6)内的阴极(8)，所述进口端沿周侧设有进气口(9)，所述第一阳极筒(6)和第二阳极筒(7)之间设有栅极(10)，所述第一阳极筒(6)和第二阳极筒(7)的内侧表面为凹凸不平的波浪形。
2.根据权利要求1所述的一种光学镀膜辅助离子源，其特征在于：所述栅极(10)采用金属栅网结构。
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