[实用新型]一种光学镀膜辅助离子源

说明书

本实用新型公开了一种光学镀膜辅助离子源，包括放电室、位于放电室外侧的磁棒及依次安装在放电室正前方的屏极、加速极及中和灯丝，放电室内安装有第一阳极筒和第二阳极筒，放电室进口端内安装有位于第一阳极筒内的阴极，进口端沿周侧设有进气口，第一阳极筒和第二阳极筒之间设有栅极，第一阳极筒和第二阳极筒的内侧表面为凹凸不平的波浪形。本实用新型提供的一种光学镀膜辅助离子源，电子束流状态佳，稳定性好。

技术领域

本实用新型属于离子束技术领域，具体涉及一种光学镀膜辅助离子源。

背景技术

离子束薄膜沉积和离子束材料改性技术是材料科学的一个重要分支，离子束技术的研究和推广取得了巨大的成就。

目前，离子源的种类很多，该装置的基本工作原理为：首先由阴极在离子源内腔产生等离子体，然后由屏栅和加速栅将离子从等离子腔体中抽取出来，这种离子源产生的离子方向性强，离子能量带宽集中，可广泛应用于真空镀膜中。

但是现有离子源的缺点在于：电子束无序乱飞，束流状态差，稳定性差，不易控制；阳极管对电子灰尘的吸附性差。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型提供一种光学镀膜辅助离子源，电子束流状态佳，稳定性好。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种光学镀膜辅助离子源，包括放电室、位于放电室外侧的磁棒及依次安装在放电室正前方的屏极、加速极及中和灯丝，所述放电室内安装有第一阳极筒和第二阳极筒，所述放电室进口端内安装有位于所述第一阳极筒内的阴极，所述进口端沿周侧设有进气口，所述第一阳极筒和第二阳极筒之间设有栅极，所述第一阳极筒和第二阳极筒的内侧表面为凹凸不平的波浪形。

所述栅极采用金属栅网结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：采用双阳极筒设计，两根阳极筒间设有栅极，较好的控制电子束的大小，进而使得电子束流状态佳，稳定性好；双阳极筒的内侧表面为凹凸不平的波浪形，增大了对电子灰尘的吸附面积，从而提高了吸附率。

附图说明

图1是原离子源结构示意图；

图2是本实用新型光学镀膜辅助离子源结构示意图。

附图中：1.放电室；2.磁棒；3.屏极；4.加速极；5.中和灯丝；6.第一阳极筒；7.第二阳极筒；8.阴极；9.进气口；10.栅极。

具体实施方式

说明书附图中图1是原离子源结构示意图，它由放电室1和离子引出系统两部分组成。

阴极8位于放电室1中阳极筒内，与阳极筒共同作用，在工作电压下发射电子。

引出系统采用双栅极系统，由一个屏极3与一个加速极4组成，进气口9通入惰性气体，一般采用氩气进入离子源，气体在放电室1中电离形成的离子，由双栅极系统拔出形成离子束。中和灯丝5发射电子对离子束进行中和。磁棒2在此过程中起到控制与筛选等离子体的作用。

说明书附图中图2所示的为本实用新型光学镀膜辅助离子源，包括放电室1、位于放电室1外侧的磁棒2及依次安装在放电室1正前方的屏极3、加速极4及中和灯丝5，放电室内1安装有第一阳极筒6和第二阳极筒7，放电室1进口端内安装有位于第一阳极筒6内的阴极8，进口端沿周侧设有进气口9，第一阳极筒6和第二阳极筒7之间设有栅极10，第一阳极筒6和第二阳极筒7的内侧表面为凹凸不平的波浪形。

栅极10采用金属栅网结构。

工作时，阴极8产生的等离子体，由第一阳极筒6引流至金属栅网结构的栅极10以控制电子束的大小，保证电子束流状态稳定，而后再由第二阳极筒7引流出在屏栅和加速栅的作用下将离子从等离子腔体中抽取出来，该设计提高了电流的稳定性，改变了电子束无序乱飞的束流状态。