[实用新型]环境控制型原子力显微镜装置

权利要求书

1.一种环境控制型原子力显微镜装置，其特征在于，包括：底座、设置于所述底座上的内部中空的激光检测头、设置于所述激光检测头内的激光器、设置于所述底座内且上端伸入到所述激光检测头内的样品移动台以及设置在所述样品移动台内的样品扫描器；

所述激光检测头和底座之间设置有第一橡胶密封圈；

所述样品移动台的上部外周固接有移动滑板，所述移动滑板可相对所述底座的上盖板进行水平滑动，所述移动滑板和所述底座的上盖板之间设置有第二橡胶密封圈。

2.根据权利要求1所述的环境控制型原子力显微镜装置，其特征在于，所述上盖板的中部开设有供所述样品移动台上端的载物台面伸出的开口。

3.根据权利要求2所述的环境控制型原子力显微镜装置，其特征在于，所述底座的侧部设置有与所述样品移动台连接的样品移动旋钮，通过所述样品移动旋钮带动所述样品移动台移动。

4.根据权利要求3所述的环境控制型原子力显微镜装置，其特征在于，所述样品扫描器上端设置有用于承载样品的样品加热台。

5.根据权利要求4所述的环境控制型原子力显微镜装置，其特征在于，所述样品扫描器可带动所述样品加热台在所述样品移动台内旋转，所述样品扫描器和样品移动台之间设置有第三橡胶密封圈。

6.根据权利要求5所述的环境控制型原子力显微镜装置，其特征在于，所述激光检测头的上端设置有上盖板，所述上盖板上设置有透光片；

所述上盖板和激光检测头之间设置有第四橡胶密封圈。

7.根据权利要求6所述的环境控制型原子力显微镜装置，其特征在于，所述激光检测头的前部可拆卸设置有前盖板，所述前盖板上设置有透明玻璃；

所述前盖板和激光检测头之间设置有第五橡胶密封圈。

8.根据权利要求7所述的环境控制型原子力显微镜装置，其特征在于，所述激光检测头上设置有进气阀门和出气阀门。

9.根据权利要求8所述的环境控制型原子力显微镜装置，其特征在于，所述激光检测头上还设置有用于调节所述激光器的移动的激光器调节旋钮、用于调节所述激光检测头内的PSD的移动的PSD调节旋钮以及用于调节所述激光检测头内的反光镜的移动的反光镜调节旋钮。

10.根据权利要求9所述的环境控制型原子力显微镜装置，其特征在于，所述第一、第二、第三、第四和第五橡胶密封圈的横截面的一端呈倒T形，另一端呈外凸的弧形；与所述五个橡胶密封圈接触的两个接触面中的一个具有用于与橡胶密封圈配合的截面呈T形的密封槽。